真空計(jì)測量范圍
真空計(jì)測量范圍
如左圖，壓力變化引起膜片不同層度的形變，使得膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道膜片上壓力的變化。（膜片主要有兩種材質(zhì)：金屬膜片和陶瓷膜片）
電容薄膜壓力計(jì)，測量讀數(shù)無關(guān)氣體組分，主要受環(huán)境溫度的影響（溫度補(bǔ)償），是測量差分或全部氣體壓力準(zhǔn)確的設(shè)備（包括蒸汽凝結(jié)、操作溫度不規(guī)則的環(huán)境），目前已知產(chǎn)品大測量壓力為25000Torr，低測量壓力在10-5Torr左右。大部分精度為讀數(shù)的0.25%，其中高精度有0.08%、0.025%。測量范圍跨度一般有4個(gè)數(shù)量級或5個(gè)數(shù)量級。
應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻，CVD,PVD,ALD等
光伏行業(yè)，PECVD等
液晶顯示屏制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備，標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)
國防科研應(yīng)用
熱電偶真空計(jì)
如右圖，燈絲通過恒流源供電加熱，由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化，燈絲溫度引起熱電偶電壓（恒壓）變化，根據(jù)電壓變化測算出氣壓。（熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系）
測量的壓力范圍：10Torr至10-3Torr
應(yīng)用
前級真空測量，如前級真空泵，鍍膜，光伏，等離子行業(yè)
中低真空測量行業(yè)，如冶金
高真空計(jì)的連鎖控制
皮拉尼真空計(jì)
如圖，燈絲通過恒流源供電加熱，由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化（恒溫）引起電橋（惠斯通）電阻變化，根據(jù)電阻變化測算出氣壓。（熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系）
測量的壓力覆蓋范圍：100Torr至10-3Torr（具體參考實(shí)際產(chǎn)品指標(biāo)）
應(yīng)用
前級真空測量，如前級真空泵，鍍膜，光伏，等離子行業(yè)
中低真空測量行業(yè)，如冶金
高真空計(jì)的連鎖控制
對流增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)
Convectron&Convection真空規(guī)是結(jié)構(gòu)同皮拉尼，其壓力測量基于傳感器導(dǎo)線的熱損失率。與傳統(tǒng)的熱偶規(guī)和皮拉尼真空規(guī)僅使用傳導(dǎo)性損失不同，熱損失真空規(guī)由于在較高壓時(shí)使用對流散熱，從而充分利用了熱損失技術(shù)。使測量范圍延伸到大氣端。
測量范圍：10-4torr至1000Torr；精度優(yōu)于一般皮拉尼真空規(guī)。
應(yīng)用
前級真空測量，如前級真空泵，鍍膜，光伏，等離子行業(yè)
中低真空測量行業(yè)，如冶金
高真空計(jì)的連鎖控制
B-A型熱離子真空計(jì)
熱陰極離子規(guī)管的壓力指示是基于氣體分子電離產(chǎn)生的連續(xù)電流。負(fù)電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極（陽極）加速運(yùn)動。電子進(jìn)入柵極和對地連接的收集極空間內(nèi)。在這個(gè)空間內(nèi)電子與真空系統(tǒng)中的氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對柵極的電壓和電子發(fā)射電流下，壓力低于10-3Torr時(shí)正離子形成率直接與分子密度（壓力）相關(guān)。離子流的強(qiáng)度在經(jīng)壓力單位調(diào)校的微安計(jì)上顯示出來。由于壓力的指數(shù)是線性的，熱陰極離子規(guī)管通常在壓力低于10-3Torr時(shí)被認(rèn)為進(jìn)行連續(xù)的壓力測量時(shí)精確的。
離子規(guī)的測量下限由這類型規(guī)管的X射線極限決定。X射線極限因不同規(guī)管設(shè)計(jì)而不同。陰極發(fā)射的電子與柵極及其支撐網(wǎng)碰撞產(chǎn)生X射線。由于離子規(guī)的幾何結(jié)構(gòu)原因，僅有一小部分發(fā)射的X射線會被收集極收集。當(dāng)X射線碰撞收集極絲時(shí)，收集極上會有光電子發(fā)射。X射線電流限制了壓力測量范圍，使其等效壓力下限到10-10或10-11Torr范圍，取決于規(guī)管型號。早期的規(guī)管在柵極外有個(gè)柱狀收集極，這種規(guī)管的X射線極限大約在10-8Torr。當(dāng)氣體非常稀薄且規(guī)管所獲得的電流輸出幾乎全部都來源于X射線光電發(fā)射時(shí)，X射線極限就決定了規(guī)管小壓力測量值。
電極被碳?xì)浠衔镂廴竞髸筙射線極限增加，這是因?yàn)樵赬射線轟擊下污染表面會放出更多的二次電子。這種污染通?？梢酝ㄟ^電極除氣來消除。
測量覆蓋的范圍：10-3Torr至2 × 10-11Torr（具體參考實(shí)際產(chǎn)品的指標(biāo)）
應(yīng)用
高真空及UHV真空測量
光學(xué)鍍膜
冷陰極離子真空計(jì)
冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。冷陰極電離規(guī)無熱燈絲，容易清洗保養(yǎng)。
測量覆蓋范圍：10-3Torr至7.5 × 10-11Torr（具體參考實(shí)際產(chǎn)品的指標(biāo)）
