354 Micro-ion
354 Micro-ion
Granville Phillips Micro-ion真空規(guī)是世界上較小的電離真空規(guī)，其壓力測(cè)量基干帶電電子與真空規(guī)管中氣體分子碰括所產(chǎn)生的離子電流的量。通過多種改進(jìn)，在小體積內(nèi)取得了高性能。這些改進(jìn)包括獲得的雙離子收集極設(shè)計(jì)，可以優(yōu)化電子運(yùn)動(dòng)和離子收集。雙燈絲減少了計(jì)劃外停機(jī)。由于有第二根燈絲做備用規(guī)管可以工作到定期維護(hù)時(shí)再更換。超清潔結(jié)構(gòu)(包括所有組件的真空燒制和在潔凈度100級(jí)的潔凈室環(huán)境中的組裝)確保在真空室抽氣的過程中快速、可重復(fù)的響應(yīng)。
緊湊尺寸、高性能和堅(jiān)固耐用、全金屬外殼使得Micro-lon模塊成為眾多高真空應(yīng)用的明智選擇。
特點(diǎn)
真空壓力測(cè)量至10E-9Torr
雙燈絲增加設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間
超潔凈結(jié)構(gòu)在抽氣過程中實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)
堅(jiān)固耐用的金屬結(jié)構(gòu)，抗射頻和噪音符合CE標(biāo)準(zhǔn)
可選本地顯示器有助于設(shè)置和診斷
數(shù)字接口可用于計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)
技術(shù)規(guī)格
| 測(cè)量范圍（對(duì)于N2和空氣） | 10E-9Torr至5 × 10E-2Torr |
| 發(fā)射電流 | 0.1,4mA |
| 除氣 | 電子轟擊，3W，帶2分鐘定時(shí)器 |
| 過壓保護(hù) | 在出廠設(shè)置壓力上線時(shí)規(guī)管關(guān)閉 |
| 重量 | 370g，KF16法蘭 |
| 電源 | 24Vdc±15%，12W |
| 工作溫度 | 0-40℃，非冷凝 |
| 外殼 | 鋁材 |
| 認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
| 模擬輸出型 | |
| 輸出 | 1V/數(shù)量級(jí)，對(duì)數(shù)，0-9V |
| 燈絲控制 | 模塊頂部切換開關(guān) |
| 輸入信號(hào) | 燈絲開/關(guān)。除氣開/關(guān)以及發(fā)射電流通過對(duì)地通斷性來設(shè)置 |
| 輸出信號(hào) | 燈絲和除氣開/關(guān)狀態(tài)由開路集成電機(jī)晶體管來決定 |
| 接口 | 9針D-sub插針公頭 |
| 顯示器（選配） | 2位加指數(shù)，綠色LED |
| 數(shù)字接口型 | |
| 通訊 | RS485，一個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器 |
| 參數(shù)可調(diào) | 燈絲開/關(guān)，除氣開/關(guān)，發(fā)射電流選擇，燈絲選擇，設(shè)定點(diǎn)（值，方向和滯后） |
| 波特率 | 19200波特率（默認(rèn)值） |
| 數(shù)據(jù)格式 | ASCII，8位數(shù)字位，1位停止位，無奇偶校驗(yàn)位，無反饋校驗(yàn)（默認(rèn)） |
| 繼電器配置 | 一個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器SPDT |
| 繼電器觸點(diǎn)額定值 | 1A，30V直流阻抗負(fù)載時(shí)；0.5A，125V交流非電感式時(shí) |
| 接口 | 9針D-sub插針式公頭 |
| Micro-ion真空計(jì) | |
| 敏感度 | 20/Torr，15/mbar，0.15/Pa |
| X射線極限 | ＜3 × 10E-10Torr |
| 燈絲材料 | 氧化釔涂層銥絲或鎢絲 |
| 暴露于真空的材料 | 304不銹鋼，氧化鋁，鉭，鎢，CuAg共晶，Kovar合金 |
| 烘烤溫度 | 200℃，拆除電子設(shè)備 |
訂購資料
| 本體模塊 | 表示符 |
| 模擬量輸出，無顯示器 | 354001 |
| 模擬量輸出，3位顯示器 | 354002 |
| RS485數(shù)字接口，無顯示器 | 354005 |
| 燈絲組件 | |
| 氧化釔涂層銥絲 | Y |
| 鎢絲 | T |
| 法蘭連接 | |
| KF16 | D |
| KF25 | E |
| KF40 | K |
| CF16 | F |
| CF35 | G |
| 8VCR | H |
| 測(cè)量單位 | |
| Torr | T |
| mbar | M |
| Pa | P |
例如：354001-YE-T，表示：模擬量輸出，無顯示器，氧化釔涂層銥絲，KF25接口，單位Torr的真空計(jì)
置換產(chǎn)品：Instrutech inc
| 本體模塊 | GP 354 | MKS 355 | Instrutech IGM401 |
| 模擬量輸出，無顯示器 | 354001 | 355-4-00 | IGM401 |
| 模擬量輸出，3位顯示器 | 354002 | 355-6-00 | IGM401 |
| RS485數(shù)字接口，無顯示器 | 354005 | 355-4-10 | IGM401 |
| 燈絲組件 | |||
| 氧化釔涂層銥絲 | Y | Y | Y |
| 鎢絲 | T | T | T |
| 法蘭連接 | |||
| KF16 | D | D | B |
| KF25 | E | E | C |
| KF40 | K | K | D |
| CF16 | F | F | E |
| CF35 | G | G | F |
| 8VCR | H | H | H |
例如：
GP：354002-YE-T
MKS：355-6-00-0-YE-T
Instrutech：IGM401YCD
這三個(gè)產(chǎn)品能完全通用。