JEOL電子槍/電源介紹
JEOL電子槍/電源介紹
電子槍/電源的構(gòu)成
電子槍動(dòng)作原理
電子槍是加速電子轟擊靶屏發(fā)光的一種裝置，它發(fā)射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的電子束。(該電子束的方向和強(qiáng)度可以控制，通常由熱陰極、控制電極和若干加速陽(yáng)極等組成)電子槍用來(lái)提供電子束，并轟擊熒光屏形成不同灰度等級(jí)的圖像。
燈絲在通電流后會(huì)加熱，產(chǎn)生熱電子。
這些熱電子在加速電壓作用下加速。（在燈絲—陽(yáng)極間）加速脫離燈絲的熱電子在偏向磁場(chǎng)（永久磁場(chǎng)or電磁鐵）作用下進(jìn)行偏轉(zhuǎn)、對(duì)坩堝內(nèi)的蒸鍍材料進(jìn)行照射。
電子槍構(gòu)造
電子束轉(zhuǎn)向方法=利用磁場(chǎng) 電子束掃描方法=利用磁場(chǎng)
JEOL電子槍·電源的特長(zhǎng)
能量分布均勻的圓型電子束光斑
電子束的垂直入射性出色→適合氧化物·升華物材料
高速掃描→能得到平坦良好的熔跡
低真空動(dòng)作安定→電子槍的構(gòu)造能實(shí)現(xiàn)在低真空的動(dòng)作安定
優(yōu)異的放電抑制電子回路能幫助實(shí)現(xiàn)安定的蒸鍍
電子槍燈絲
渦旋形燈絲
因?yàn)闊艚z上流有負(fù)的高壓電、再加上電場(chǎng)的關(guān)系，呈正極的離子會(huì)通過(guò)陽(yáng)極中央對(duì)燈絲的中央附近進(jìn)行攻擊。這些沖擊會(huì)造成燈絲斷線。
長(zhǎng)壽命燈絲
這種燈絲、為了避免離子的攻擊，呈U字形的形狀。離子會(huì)被中央部的輔助電極所吸引。
EB電源的各機(jī)能
操作盤(pán)
操作盤(pán)的外部制御（信號(hào)輸入和輸出）
如何穩(wěn)定使用電子槍
不穩(wěn)定的主要原因
1、壓力上升
①蒸鍍材料的放出氣體
②排氣能力的低下
③構(gòu)造物中的滯留氣體的大量放出
④真空裝置內(nèi)部的污染
2、絕緣距離低下（高電壓部）
①高電壓部絕緣陶瓷的污染 ②突出物（蒸鍍垃圾等）
電子槍磁場(chǎng)環(huán)境的注意點(diǎn)
不要把高磁場(chǎng)導(dǎo)率物質(zhì)或磁性物放在電子槍周?chē)?，有可能影響電子槍的性?/p>
使用電子束對(duì)高磁導(dǎo)率蒸鍍材料進(jìn)行照射的時(shí)候，隨溫度的變化電子束位置也會(huì)發(fā)生變化
來(lái)源：鍍膜行業(yè)交流