半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
使用BARON3000 系列可以遠(yuǎn)程調(diào)控壓力. 并且一般來說壓力會隨著流量的增加而減小,使用BARON3000系列 維持顧客設(shè)置的壓力. MKP適應(yīng)市場需求壓力控制和流量實時測試的 BARON3100系列開發(fā)提供.這系列是原片的溫度以調(diào)節(jié)提高工序收率為目的廣泛使用.
特點
電子壓力控制器
壓力控制范圍廣: 10Torr ~ 3000Torr
快速壓力控制時間: ≤1Sec
支持實時進(jìn)行流量檢測(Only BARON3100s)
耐腐蝕性強: 電拋光<0.1um RA
通訊: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號 | BARON3000 | ||||
| 流量范圍（N2等效） | None | ||||
| 壓力控制范圍 | 2~100% of F.S | ||||
| 壓力范圍 | 10Torr~100Torr | ||||
| 孔口滿刻度范圍 | 100SCCM-50SLM | ||||
| 精確度 | ≤0.5% of F.S | ||||
| 響應(yīng)時間 (壓力控制) | ≤1Sec | ||||
| 控制模式 | Downstream standard (Upstream optional) | ||||
| 工作壓差 | 100SCCM~ 10SLM : ≥137kPa(D) 10SLM ~ 50SLM : ≥275kPa(D) | ||||
| 最大入口壓力 | 400kPa(G) | ||||
| 爆裂壓力 | 800kPa(G) | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01% of F.S./℃ | ||||
| 工作溫度范圍 | 5~50?C (Recommended : 15~35?C) | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 閥門關(guān)閉時的內(nèi)部泄漏 | ≤0.1% of F.S | ||||
| 零穩(wěn)定性 (流量計) | None | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +15~24VDC,7.2W max or ±15VDC 6W max | ||||
| 閥門類型 | Normally ClosedSolenoid | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購參數(shù)確認(rèn)單