CDG100Dhs加熱型電容膜片真空計
CDG100Dhs加熱型電容膜片真空計
INFICON Stripe高速電容膜片真空計是目前速度較快的高精度真空測量儀器。響應(yīng)時間不到2毫秒，配備EtherCAT現(xiàn)場總線接口，開拓了全新的應(yīng)用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有零位穩(wěn)定性。Stripe隨附INFICON的傳感器屏蔽，用于保護(hù)真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe采用創(chuàng)新加熱概念，提供涼爽的接觸表面和速度性能，可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力提升。
特點(diǎn)
高生產(chǎn)力 — 響應(yīng)時間不到2毫秒
靈活集成 — EtherCAT現(xiàn)場總線
使用壽命長 — 經(jīng)驗證的陶瓷傳感器
無需重新校準(zhǔn) — 90ppm/年全方位穩(wěn)定性
應(yīng)用
原子層沉積
高速過程控制
PVD、CVD、蝕刻
一般高溫真空應(yīng)用
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