冷陰極皮拉尼復(fù)合真空計(jì)
冷陰極皮拉尼復(fù)合真空計(jì)
INFICON反磁控管皮拉尼復(fù)合真空計(jì)，MPG400 和 MPG401，測(cè)量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力（3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力）。將多項(xiàng)技術(shù)融入帶有一個(gè)對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)的單個(gè)緊湊型裝置中，顯著降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
特點(diǎn)
復(fù)合真空計(jì) – 冷陰極和皮拉尼
5 X 10-9 mbar 至大氣壓寬廣的測(cè)量范圍
倒磁控管沒(méi)有燈絲，不會(huì)出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象
卓越的點(diǎn)火屬性
易清洗
FPM 或金屬密封饋入裝置
LED 指示器，高壓時(shí)亮起
對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
應(yīng)用
高真空壓力測(cè)量
蒸發(fā)與濺射鍍膜系統(tǒng)
全真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) 密封 | MPG400 FPM密封 | MPG401 金屬密封 | |
| 測(cè)量范圍 | 5 × 10E-9至1000 mabr | ||
| 精度（N2） 10E-8至100 mbar | ≈±30%讀數(shù) | ||
| 重復(fù)性 | ≈±5%讀數(shù) | ||
| 輸出信號(hào)（電壓） | 0至+10.5V | ||
| 電源電壓 功率 | +15至+30Vdc ≤2 W | ||
| 電氣連接件 | FCC 68/RJ45網(wǎng)口，8腳屏蔽 | ||
| 工作溫度 | +5至+55℃ | ||
| 安裝方位 | 任何 | ||
| 防護(hù)等級(jí) | IP40 | ||
訂購(gòu)資料
| 型號(hào) 密封 | MPG400 FPM密封 | MPG401 金屬密封 |
| KF25 | 351-010 | 351-020 |
| KF40 | 351-011 | 351-021 |
| CF40 | 351-012 | 351-022 |