SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測(cè)量速率和厚度。兩個(gè)傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個(gè)傳感器輸入為可選輸入。兩個(gè)錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號(hào)。
傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統(tǒng)中平均分配以實(shí)現(xiàn)精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器，從而延長(zhǎng)傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個(gè)繼電器輸入，SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號(hào)時(shí)間和厚度設(shè)定點(diǎn)以及信號(hào)晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號(hào)啟動(dòng)/停止和歸零讀數(shù)
特點(diǎn)
兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量通道，另外四個(gè)可選
模擬輸出便于記錄速率/厚度
高分辨率選件：0.03 Hz，10 讀數(shù)/秒
RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口，可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | SQM160標(biāo)準(zhǔn)分辨率 | SQM160高分辨率 | |
| QCM輸入 | 2（可選4） | ||
| 測(cè)量頻率范圍 | 可調(diào): 1.0 MHz較低 6.5 MHz較高 | ||
| 頻率分辨率 0.1s測(cè)量間隔 | ± 0.30Hz | ± 0.03Hz | |
| 厚度和速率分辨率/測(cè)量 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6赫茲，0.1秒測(cè)量間隔 | ±0.37 ? | ±0.037 ? | |
| 頻率穩(wěn)定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
| 測(cè)量周期 | 0.10至2s（可調(diào)） | ||
| 控制 存儲(chǔ)膜系 模擬輸出 數(shù)字輸入/輸出 | 2個(gè)0-5V直流,速率和膜厚 2個(gè)輸入，四個(gè)繼電器輸出 | ||
| 電氣接口 | RS232標(biāo)準(zhǔn)（USB、以太網(wǎng)口可選） | ||
| 電源電壓 | 100-240VAC，20W | ||
| 標(biāo)準(zhǔn) | CE，RoHS | ||
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