半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
MARU3000系列是MKP的基本型 MFC. 但是，符合顧客要求及良好的性能，是響應(yīng)確認度和回答度等重要性能與高端機型同等水平 在MKP bestseller之一。
特點
標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字 MFC
快速響應(yīng)時間: ≤1Sec
高精度: ≤1% of S.P
耐腐蝕性: STS316L VIMVAR 光亮退火
支持MGMR功能
通訊:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號 | Maru 3000 | ||||
| 流量范圍（N2等效） | 30SCCM~30SLM | ||||
| 流量控制范圍 | 5~100% of F.S | ||||
| 精確度 | ≤±0.25%讀數(shù)（5~25%量程） ≤±1.0%滿量程（25~100%量程） | ||||
| 響應(yīng)時間 | ≤1秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時間 | ≤±0.15%滿量程 | ||||
| 閥門關(guān)閉時的內(nèi)部泄漏 | ≤1% of F.S | ||||
| 零點穩(wěn)定性 | ＜±0.5%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤濕材料 | STS316L VIM VAR | ||||
| 閥座 | METAL / PTFE | ||||
| 密封件類型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5~50?C (Recommended : 15~35?C) | ||||
| 預(yù)熱時間 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 最大入口壓力 | 300 kPa(G) | ||||
| 工作壓差 | ≥50kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +15~24VDC, 7.2W max or ±15VDC 5.6W max | ||||
| 閥門類型 | Normally Closed Solenoid | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購參數(shù)確認單