半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
ARA 5000
特點(diǎn)
數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍廣: 5SCCM ~ 500SLM
高精度: ≤1% of S.P
快速響應(yīng)時(shí)間: ≤1Sec
耐腐蝕性強(qiáng): 電拋光<0.1um RA
通訊:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | ARA 5000 | ||||
| 流量范圍（N2等效） | 5SCCM~30SLM | ||||
| 流量控制范圍 | 2~100% of F.S | ||||
| 精確度 | ≤±0.25%讀數(shù)（2~25%量程） ≤±1.0%滿量程（25~100%量程） | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時(shí)間 | ≤±0.15%滿量程 | ||||
| 零穩(wěn)定性 | ＜±0.5%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤濕材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) | ||||
| 密封件類型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5~50?C (Recommended : 15~35?C) | ||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 最大入口壓力 | 800 kPa(G) | ||||
| 工作壓差 | ≥50kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +15~24VDC, 3.6W max | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購參數(shù)確認(rèn)單