CDG100D2加熱式電容膜片真空計(jì)
CDG100D2加熱式電容膜片真空計(jì)
INFICON Edge電容膜片真空計(jì)是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計(jì)的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有無與倫比的零位穩(wěn)定性。Edge隨附INFICON傳感器屏蔽，用于保護(hù)真空計(jì)，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可配置信號調(diào)節(jié)，另外還有EtherCAT現(xiàn)場總線接口可供選擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶貴的工具空間。INFICON Edge是同類產(chǎn)品中較小的真空測量儀器。
特點(diǎn)
緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
診斷端口用于快速維修和維護(hù)
兩年保修服務(wù)，加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長了使用壽命
卓越的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
應(yīng)用
CVD、蝕刻、PVD及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
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