GMC1200流量/壓力控制器
GMC1200流量/壓力控制器
GMC1200流量壓力控制器是給MFC(質(zhì)量流量控制器)提供電源(±15VDC),流量顯示,穩(wěn)定的電壓設(shè)置點(diǎn)(0 ~ 5VDC),使MFC能夠準(zhǔn)確地成為控制的裝置。也可以用電容壓力計(jì)代替MFC對(duì)壓力進(jìn)行顯示。(0 - 10 VDC壓力信號(hào)),如果你添加上游壓力控制板作為選擇選項(xiàng),則可以另加壓力控制模式,在連接各通道的MFC中,任意選擇想要的通道,用氣體的量可以自動(dòng)控制想要的壓力,同時(shí)壓力也可以顯示。
通過(guò)微處理器進(jìn)行“控制”處理,而且還可以利用rs - 232接口進(jìn)行“PC控制”操作。
特點(diǎn)
采用高速微處理器。
使用(±電壓顯示)16位雙A / D控制
容易辨認(rèn)的LCD顯示。
流量或壓力的單位，用戶可以直接設(shè)置。
2、4、6、8通道可選。
您可以通過(guò)連接電容壓力計(jì)測(cè)定壓力。
每個(gè)頻道的流量都可以控制。
總流量累計(jì)功能
使用MFC與電容壓力計(jì),可選上游壓力控制
技術(shù)規(guī)格
| 尺寸 | 寬*長(zhǎng)*高 241mm*88mm*200mm |
| 電氣特性 | |
| 輸入功率 | 195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA 默認(rèn) 98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可選 |
| 熔斷器額定值 | 250 VAC @3 A |
| 輸出功率 | +/-15VDC ±5% @2.7A |
| 工作溫度 | 0 ~ 50°c |
| 輸入信號(hào) | 0 ~ 5VDC for MFC 0 ~ 10VDC for 電容式壓力計(jì) |
| 輸出信號(hào) | 0 ~ 5VDC for MFC 指令 |
| 顯示窗口 | 128*64 LCD顯示器 |
| 顯示單位 | sccm, slm表示MFC, Torr表示CM |
| 接口 | RS - 232、TTL接口 |
MFC是“質(zhì)量流量控制器”的縮寫(xiě),氣瓶上出來(lái)的氣體，用戶有時(shí)所需的是一定流量的值。雖然每個(gè)制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘)。
特點(diǎn)
設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體制程和工業(yè)使用
滿量程流量從5sccm至200slm
1%滿量程的精度
可搭配GMC1200儀表顯示，也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統(tǒng)
技術(shù)規(guī)格
流量范圍（滿量程） | AFC500/AFC600：5sccm至50slm AFC770：51至200slm |
進(jìn)氣壓力高可達(dá) | 150psig |
正常工作壓差（與在大氣壓，MFC出口） 10至5000sccm 10000至20000sccm AFC770 | 10至40 psid 15至40psid 40至70psid |
精度（模擬量） (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復(fù)性) | ±1%滿量程 |
重復(fù)性 | ±0.2%滿量程 |
分辨率 | 1%滿量程 |
溫度系數(shù) 零點(diǎn) 跨度 | <0.05 % 滿量程./°C <0.05 % 滿量程. |
預(yù)熱時(shí)間（達(dá)到穩(wěn)態(tài)性能的0.2%以內(nèi)） | ＜2分鐘 |
控制器調(diào)節(jié)時(shí)間 | ＜2sec |
壓力系數(shù) | <0.02 % of Rdg./psi |
工作溫度范圍 | 0-50℃ |
電源 | ±15 VDC (±5%) |
設(shè)定值命令信號(hào) | 0-5Vdc |
輸出信號(hào) | 0-5Vdc |
法蘭 | VCR, LOK |
接口 | 9針D-sub |
材料 | 316L，密封Viton（AFC600：Kalrez） |
外部泄漏完整性(scc/sec He) 通過(guò)關(guān)閉閥門(mén) | < 1×10（-9） <1.0%的F.S.，在40 psig的大氣入口（為確保無(wú)流量通過(guò)，建議使用單獨(dú)的正壓切斷閥。） |