壓力控制系統(tǒng)
壓力控制系統(tǒng)
APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號連接顯示器，同時使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內(nèi)置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。
特點
至多可以連接4個MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個MFC)組成。
標(biāo)準(zhǔn)的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項)，實現(xiàn)所有遠程控制都是可能的。
技術(shù)規(guī)格
閥門操作 | ATV1000排氣節(jié)流閥，MKS型653和253排氣節(jié)流閥及其他 |
壓力輸入信號 | 標(biāo)準(zhǔn)0-10Vdc |
輸入功率要求 | 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz |
設(shè)置點 可編程的 外部模擬 | 總共5個，可在任何組合中編程，用于壓力或閥位置 （可從前面板調(diào)節(jié)或從前面板旋轉(zhuǎn)RS232設(shè)定、TTL或RS232） 0-10VDC |
控制器重復(fù)性 | ±0.1% F.S |
環(huán)境運行溫度 | 15℃ - 45℃ |
輸出功率 | ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp |
模擬量輸出信號 | 0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力 |
尺寸 | 1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高 |
顯示 | LCD(壓力、位置和外部設(shè)定點讀數(shù)) |
顯示單位 | Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標(biāo)準(zhǔn) |
PID控制 | 標(biāo)準(zhǔn) |
遠程零點 | 標(biāo)準(zhǔn) |
接口 | 前面板設(shè)置，模擬，TTL和RS232，（RS-485選項） |
繼電器輸出 | 2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻 |
遠程控制 （打開、關(guān)閉、保持） | 標(biāo)準(zhǔn) |
位置控制能力 | 標(biāo)準(zhǔn) |
ATV1000排氣節(jié)流閥
ATV1000是用來調(diào)節(jié)真空腔體壓力的，可以控制大范圍的壓力。ATV1000是設(shè)計與GPC3000兼容使用的。
ATV1000-B在閥內(nèi)安裝了調(diào)節(jié)電導(dǎo)的板，和百葉窗形態(tài)一樣，與其他閥不同的排期節(jié)流閥，即使板是90度開啟，也不干涉腔體其他的部件，板可以自由動作。為了空間的一些適配管道與法蘭，都沒有必要安裝，整體上節(jié)省了真空裝備的體積和價格，并開發(fā)了大型尺寸的閥門。
特點
使用高速電機、大大縮短了位置點抵達的時間,提高設(shè)備的吞吐量而設(shè)計的。
ATV1000可以與GPC3000控制器連接使用,其他公司產(chǎn)品的控制器也可以連接使用（如MKS）
“節(jié)流閥”將擋板的位置在用戶外部也可以確認(rèn),即便閥的動作是否在裝備中脫離，可以確認(rèn)。
“節(jié)流閥”法蘭通常使用ISO-NW,但根據(jù)顧客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法蘭。
ATV1000-B優(yōu)勢
ATV1000-B閥門式樣
技術(shù)規(guī)格
閥門速度（開閉） | 1.5sec |
分辨率 | 1/24000 |
驅(qū)動方式 | PID單獨傳動 |
閥體工作溫度 | 標(biāo)準(zhǔn)：0-100℃ 可選：0-150℃ |
閥工作環(huán)境溫度 | -20℃至40℃ |
閥的壓差 | 1atm（15psi） |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
暴露在工藝中的材料 | 標(biāo)準(zhǔn)：304，Viton（密封材料可選） 可選：316，Viton（密封材料可選，具體聯(lián)系工程師） |
兼容的控制器 | GPC3000,MKS 651 or 1651 |
控制器輸出轉(zhuǎn)矩 | 800 in-oz |
關(guān)閉-泄漏率 (帶有O型圈的閥門) | <10-7(Torr l/s)> |
ACM200電容薄膜真空計
ACM200 電容薄膜壓力計，通常安裝在真空腔體或管道上，讀取實時壓力，±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的，廣泛用于半導(dǎo)體工程和真空工業(yè)設(shè)備。
特點
直接測量方式測量壓力
無關(guān)氣體組分影響
可應(yīng)用于腐蝕性氣體環(huán)境，適合于各類制程應(yīng)用
可搭配Atovac儀表，實時顯示
測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr，覆蓋大多數(shù)制程壓力范圍
技術(shù)規(guī)格
壓力范圍（滿量程） | 1、2、10、100、1000 |
壓力 | 0.01%滿量程 |
精度 | ±0.25%讀數(shù) 可選：±0.15%讀數(shù) |
溫度效應(yīng) 零點 跨度 | 0.002% 滿量程/°C 0.02% 讀數(shù)/°C |
工作環(huán)境溫度 | 0℃至50℃ |
暴露于氣體中的材料 | 鉻鎳鐵合金 |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
壓力高可達 | 310Kpa |
電源要求 | ±15VDC (±5%) @ 35 mA |
輸出信號 | 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load |
法蘭 | 8 VCR, NW16KF |
MFC是“質(zhì)量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體，用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘)。
特點
設(shè)計用于半導(dǎo)體制程和工業(yè)使用
滿量程流量從5sccm至200slm
1%滿量程的精度
可搭配GMC1200儀表顯示，也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統(tǒng)
技術(shù)規(guī)格
流量范圍（滿量程） | AFC500/AFC600：5sccm至50slm AFC770：51至200slm |
進氣壓力可達 | 150psig |
正常工作壓差（與在大氣壓，MFC出口） 10至5000sccm 10000至20000sccm AFC770 | 10至40 psid 15至40psid 40至70psid |
精度（模擬量） (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復(fù)性) | ±1%滿量程 |
重復(fù)性 | ±0.2%滿量程 |
分辨率 | 1%滿量程 |
溫度系數(shù) 零點 跨度 | <0.05 % 滿量程./°C <0.05 % 滿量程. |
預(yù)熱時間（達到穩(wěn)態(tài)性能的0.2%以內(nèi)） | ＜2分鐘 |
控制器調(diào)節(jié)時間 | ＜2sec |
壓力系數(shù) | <0.02 % of Rdg./psi |
工作溫度范圍 | 0-50℃ |
電源 | ±15 VDC (±5%) |
設(shè)定值命令信號 | 0-5Vdc |
輸出信號 | 0-5Vdc |
法蘭 | VCR, LOK |
接口 | 9針D-sub |
材料 | 316L，密封Viton（AFC600：Kalrez） |
外部泄漏完整性(scc/sec He) 通過關(guān)閉閥門 | < 1×10（-9） <1.0%的F.S.，在40 psig的大氣入口（為確保無流量通過，建議使用單獨的正壓切斷閥。） |
壓強控制系統(tǒng)示意圖
