半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
MARU9000系列是適用最佳全新技術(shù)扣押刑MFC. MARU9000系列線性度良好, 精確度控制在設(shè)定值±0.5%范圍以內(nèi)，采用實(shí)際氣體和變化率驗(yàn)證方法以及前端壓力和溫度補(bǔ)償算法. 后段閥和前段閥累型全部提供在多種方面來(lái)選著使用。
特點(diǎn)
壓力式 MFC
超快速響應(yīng)時(shí)間: ≤0.5ec
最高精度: ≤ 0.5% of S.P
耐腐蝕性強(qiáng): 電拋光<0.1um RA
高流量穩(wěn)定性: 強(qiáng)大的PI功能(10psi)
支持MGMR功能
通訊: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | Maru 9000 | ||||
| 流量范圍（N2等效） | 5SCCM~1SLM | ||||
| 流量控制范圍 | 0.5~100% of F.S | ||||
| 精確度 | ≤±0.05%讀數(shù)（0.5~10%量程） ≤±0.5%滿量程（10~100%量程） | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤0.5秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時(shí)間 | ≤±0.3%滿量程 | ||||
| 閥門(mén)關(guān)閉時(shí)的內(nèi)部泄漏 | ≤0.01% of F.S | ||||
| 零點(diǎn)穩(wěn)定性 | ＜±0.15%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤(rùn)濕材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) & Option :HASTELLOY | ||||
| 閥座 | METAL / PTFE | ||||
| 密封件類型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5~50?C (Recommended : 15~35?C) | ||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 壓力不敏感 | ≤±2%of F.S Up/down to 10psi(69kPa)/sec | ||||
| 工作壓差 | ≥110kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | Solenoid : +15~24VDC, 7.2W max or Piezo : +15~24VDC, 3.6W max | ||||
| 閥門(mén)類型 | Normally ClosedSolenoid or Piezo | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購(gòu)參數(shù)確認(rèn)單