BAG402熱電離真空計
BAG402熱電離真空計
INFICON Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402 涵蓋從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的廣泛測量范圍。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復(fù)的工藝過程中進行基礎(chǔ)壓力測量。獨特的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性和長使用壽命。
特點
測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）
在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
超壓檢測保護絲極，防止過早燒毀
雙長使用壽命氧化釔銥絲
自動發(fā)射電流選擇降低了控制復(fù)雜性
傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng)用
對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
訂購資料
| 零件號 | 描述 |
| 353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
| 353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |