壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器
壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器
Maru 7000 PI是壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器，高性能數(shù)字控制回路可以實(shí)時(shí)控制和診斷流量，金屬密封，通過EP拋光處理，耐腐蝕性強(qiáng)；壓力傳感器及控制回路的改善算法，響應(yīng)速度、精度、重復(fù)性等性能提高，適用于嚴(yán)苛潔凈的半導(dǎo)體行業(yè)（Semiconductor）。
特點(diǎn)
SEMI注冊(cè)，三星電子Common SPEC
供給壓力波動(dòng)時(shí)也可以穩(wěn)定的控制流量
快速響應(yīng)和高精度
模擬與數(shù)字通訊都支持
流量、溫度、壓力、Mac ID、通訊速度等本體顯示
MGMR功能（Multi Gas Range）
EP處理和金屬密封，抗腐蝕性能優(yōu)秀
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | Maru 7000 PI | ||||
| 流量范圍（N2基準(zhǔn)） | 5sccm~50slm | ||||
| 流量控制范圍 | 2 ~ 100%滿量程 | ||||
| 精度 | ≤±1%讀數(shù)（30~100%量程） ≤±0.35%滿量程（5~35%量程） | ||||
| 響應(yīng)速度 | ≤1秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)性 | ≤0.2%滿量程 | ||||
| 壓力不敏感 | ≤±2%滿量程 上/下浮動(dòng)5psi/秒 | ||||
| 零點(diǎn)穩(wěn)定性 | ＜±0.5%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 泄漏率 | ＜1 × 10E-11Pa·m3/秒（He） | ||||
| 工作壓力 | 50-300KPa | ||||
| 工作壓力 | 450KPa | ||||
| 閥門類型 | 常閉閥 | ||||
| 閥門關(guān)閉 | ＜1%滿量程 | ||||
| 密封種類 | 金屬密封 | ||||
| 材質(zhì)及拋光 | STS-316L,0.1uM Ra | ||||
| 電氣連接及信號(hào) | 模擬：0-5VDC或4-20mA（15針D-Sub公頭） 數(shù)字：RS485（15針D-Sub公頭） DeviceNet協(xié)議（專用接口） | ||||
| 電源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作溫度 | 操作溫度：10-50℃（推薦15~35℃） | ||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 30分鐘（準(zhǔn)確度保證：60分鐘） | ||||
| 法蘭連接 | 1/4"LOK或VCR（根據(jù)型號(hào)） | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購參數(shù)確認(rèn)單