真空測量計
前級真空
絕對壓力
泵抽真空檢測
UHV測量
管道壓力監(jiān)測
寬壓力量程測量
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寬壓力量程測量
真空泵
油旋片泵
無油渦旋泵
螺桿真空泵
渦輪分子泵
磁懸浮分子泵
泵組（排氣臺）
氣體流量控制
MFM
MFC
3000L/min質(zhì)量流量控制器
2mL/min質(zhì)量流量控制器
多種氣體混合
加熱型氣體流量控制器
薄膜沉積
膜厚儀
晶振片
探頭潰入裝置
濺射探頭
6晶振片旋轉(zhuǎn)探頭
多通道薄膜沉積監(jiān)控
殘余氣體分析
RGA
真空本底分析
真空質(zhì)量監(jiān)測
工藝過程監(jiān)控
氣體混合檢測
腔體泄露檢查
真空檢漏
氦質(zhì)譜檢漏
鹵素檢漏
真空腔體漏點檢測
管道泄露檢查
壓力容器泄露檢查
SEMI檢漏應(yīng)用
閥門
真空閥門
擺閥、閘閥
真空角閥
排氣節(jié)流閥
氣體管路閥門
隔膜閥
鍍膜耗材
蒸鍍材料
靶材
蒸發(fā)舟
鎢舟
高純度材料
耐火坩堝
測試設(shè)備
高低溫循環(huán)沖擊系統(tǒng)
老化測試
測試設(shè)備配件