307 Bayard-Alpert真空計(jì)控制器
307 Bayard-Alpert真空計(jì)控制器
Bayard-Alpert離子計(jì)
Convectron 真空規(guī)
TC真空規(guī)
Granville-Phillips 307系列真空計(jì)控制器(VGC)可測(cè)量壓力，并充分利用壓力相關(guān)輸出來(lái)控制一系列真空系統(tǒng)功能和工藝。為了適應(yīng)各種不同的需求和應(yīng)用場(chǎng)合，307控制器提供了不同的配置和價(jià)格。對(duì)于簡(jiǎn)單的配置，307控制器僅運(yùn)行一個(gè)電離規(guī)(IG)測(cè)量從1×10 -10到1×10-1Torr壓力范圍。利用選項(xiàng)模塊，307控制器可控制四個(gè)規(guī)管，測(cè)量范圍從2×10-11Torr至大氣的壓力，并有六個(gè)過(guò)程控制設(shè)定點(diǎn)可用。
特點(diǎn)
能夠測(cè)量系統(tǒng)或工藝中多達(dá)四個(gè)位置處的壓力。
保守設(shè)計(jì)提升了可靠性，并有質(zhì)保體系做后盾。
節(jié)約空間的組件設(shè)計(jì)僅占有常規(guī)機(jī)架寬度的一半。
優(yōu)秀的改進(jìn)設(shè)計(jì)可帶來(lái)以下益處
通過(guò)使用兩個(gè)相繼工作的電離規(guī)和或者兩個(gè)Convectron規(guī)或兩個(gè)熱偶規(guī)，或使用二個(gè)Convectron規(guī)加一個(gè)電容薄膜規(guī)，可以測(cè)量系統(tǒng)或工藝中多達(dá)四個(gè)位置處的壓力。
出色的系統(tǒng)控制：提供多達(dá)六個(gè)過(guò)程控制設(shè)置點(diǎn)，并可以在預(yù)先選擇的壓力下自動(dòng)或手動(dòng)啟用。
增強(qiáng)的可靠性：采取保守設(shè)計(jì)，明顯降低組件故障的可能性。獨(dú)立電源可遠(yuǎn)程布置顯著降低操作溫度。目前，這款久經(jīng)驗(yàn)證的設(shè)計(jì)由Brooks質(zhì)保體系提供支持。
更強(qiáng)大的安全性：控制單元僅使用低壓電路，顯著降低觸電危險(xiǎn)。
明顯改進(jìn)的經(jīng)濟(jì)性：模塊化設(shè)計(jì)支持用戶僅購(gòu)買(mǎi)所需功能，并在將來(lái)輕松升級(jí)。
節(jié)約面板空間：307控制單元僅占用常規(guī)機(jī)架寬度的一半，由于無(wú)通風(fēng)，因此可以更高效地利用控制單元的上下空間優(yōu)勢(shì)。
更精確的壓力測(cè)量
顯著提高的壓力測(cè)量準(zhǔn)確度通過(guò)控制發(fā)射電流，保持i=溫度穩(wěn)定，從而使散熱及其影響，放氣作用和壁電都保持穩(wěn)定，否則這些因素將明顯影響壓力的讀數(shù)。
為了擴(kuò)展的壓力范圍測(cè)量能力和/或延長(zhǎng)規(guī)管壽命，您可以調(diào)整發(fā)射電流。
電磁場(chǎng)輻射抗干擾度
控制單元和電源之間以及與規(guī)管的連接均使優(yōu)質(zhì)的屏蔽電纜。
為了有助于防止電氣干擾，重要連接處采用RF過(guò)濾器。
通過(guò)移除控制單元附近的電源，使儀器機(jī)箱內(nèi)的溫度上升速度減緩，從而減少電路漂移并提高壓力涙量的準(zhǔn)確度。
使用Convectron規(guī)進(jìn)行的壓力測(cè)量在大多數(shù)情況下不受溫度變化的影響。溫度補(bǔ)償設(shè)備將監(jiān)控傳感絲周?chē)臍怏w溫度，而不是監(jiān)控遠(yuǎn)離的外壁溫度。
每個(gè)Granville-Phillps Convectron規(guī)管在發(fā)貨之前，均會(huì)分別經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)，大部分測(cè)量范圍內(nèi)的讀數(shù)誤差控制在±2%以內(nèi)。
要提高壓力測(cè)量的準(zhǔn)確度，可以按規(guī)管校準(zhǔn)特性簡(jiǎn)單調(diào)整靈敏度，與發(fā)射電流無(wú)關(guān)。
研究數(shù)據(jù)表明，B-A規(guī)的不準(zhǔn)確率為30%至40%，盡管307真空規(guī)控制器能夠非常精準(zhǔn)地測(cè)量離子流，但上述不準(zhǔn)確率是B-A型電離規(guī)所固有的缺陷，任何電離規(guī)控制器均無(wú)法持續(xù)加以彌補(bǔ)。
明顯改進(jìn)的經(jīng)濟(jì)性
輕松的自定義一旨在允許您僅購(gòu)買(mǎi)當(dāng)前應(yīng)用所需的模塊。
輕松的現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)支持您以合理的成本獲得更多復(fù)雜功能。
小尺寸（僅占機(jī)架寬度的一半）可節(jié)約寶貴的面板空間。
低功耗的控制單元允許安裝其他儀器，因此無(wú)需額外留出通風(fēng)空間。
很大程度地縮短停機(jī)時(shí)間：
借助故障指示燈的幫助查找故障電路。
由于毎個(gè)主板均主要包含與其功能相關(guān)的電路，因此有助于您輕松安排庫(kù)存。
可輕松更換的模塊支持快速進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)修復(fù)。
出色的控制
使用多達(dá)六個(gè)設(shè)定點(diǎn)增強(qiáng)過(guò)程繼電器，電離規(guī)有兩個(gè)，兩個(gè)Convectron或熱偶規(guī)各兩個(gè)。
可用的Convectron或熱偶規(guī)功能支持在預(yù)先選擇壓力的設(shè)定下自動(dòng)點(diǎn)亮電離規(guī)。
設(shè)定點(diǎn)可手動(dòng)干預(yù)設(shè)置便于系統(tǒng)建立和維護(hù)。
設(shè)置點(diǎn)時(shí)激活設(shè)置點(diǎn)的狀態(tài)將顯示在前面板上可以使用用戶自定義的標(biāo)簽加以識(shí)別。
Convectron規(guī)管通過(guò)在真空中分別精細(xì)調(diào)整歸零，其下限為l×10-4Torr，因此它更適用于過(guò)程控制如1×10-3Torr范圍內(nèi)的濺射。
增強(qiáng)的可靠性
停電保護(hù)：所有設(shè)定點(diǎn)都存于非易失性存儲(chǔ)器內(nèi)，因此即更停電或電壓不穩(wěn)，亦可成功保存設(shè)定信息。過(guò)程控制操作具有可選擇的繼電器狀態(tài)，使用戶能夠定義停電條件。當(dāng)電源恢復(fù)時(shí)，如果自動(dòng)IG的打開(kāi)/關(guān)閉控件正處于使用狀態(tài)，則IG將返回到“on”的狀態(tài)。
內(nèi)置的損壞保護(hù)：
保護(hù)控制器，免受規(guī)管的特殊電路的短路影響。
保護(hù)規(guī)管，免受過(guò)壓損壞。
由于構(gòu)建的等離子區(qū)可使控制單元在不受損壞的情況下關(guān)閉，因此電弧保護(hù)會(huì)在除氣期間啟動(dòng)。
由于使用遠(yuǎn)程電源可以顯著降低操作溫度，因此將明顯減少組件出現(xiàn)故障的可能性。
內(nèi)置的鎖定監(jiān)控器可持址進(jìn)行徑杏，并自動(dòng)恢復(fù)軟件相關(guān)的故障。
更強(qiáng)大的安全性
燈絲電源關(guān)閉時(shí)，電離規(guī)電極中不存在危險(xiǎn)的高壓。
遠(yuǎn)程電源可很大限度地降低觸電危險(xiǎn)；控制單元內(nèi)部以低干35伏的直流電(峰值)運(yùn)行。
采用封閉式線纜連接接頭與電離規(guī)收集極相連，明顯降低接觸收集極引線的危險(xiǎn)，這一功能十分重要，因?yàn)槿绻拥夭徽_，收集極會(huì)在柵極電壓上下浮動(dòng)。
采用防篡改設(shè)計(jì)，避免未經(jīng)授權(quán)的操作：
前面板蓋可以鎖定，有助于保護(hù)未經(jīng)授權(quán)擅自篡改子面板控件上已編程的重要數(shù)據(jù)。
遠(yuǎn)程I/ O面板支持您使前面板電離規(guī)和除氣控件無(wú)法操作。
便捷的多點(diǎn)測(cè)量讀數(shù)
通過(guò)并排安裝兩個(gè)控制單元，可以在一個(gè)緊湊的區(qū)域內(nèi)同時(shí)顯示六組壓力讀值，每個(gè)控制單元均可測(cè)量系統(tǒng)中多達(dá)四個(gè)點(diǎn)的壓力。
技術(shù)規(guī)格
| 顯示屏 | |
類(lèi)型 | 數(shù)字顯示，綠色LED |
單位 | Torr,mbar和Pa，用戶自行選擇 |
更新時(shí)間 | 通常為0.5秒 |
| 控制器壓力范圍 | |
測(cè)量下限 | 1X10-10Torr（發(fā)射電流為10mA且規(guī)管靈敏度為10/Torr） |
測(cè)量上限 | 1X10-1Torr（發(fā)射電流為10mA且規(guī)管靈敏度為10/Torr） |
壓力范圍 | 對(duì)應(yīng)于上述給定發(fā)射設(shè)定和規(guī)管靈敏度范圍的七個(gè)數(shù)量級(jí) |
| 發(fā)射電流 | 可控制，且可從0.01mA調(diào)整至10mA |
| 電離規(guī) | 模擬輸出，對(duì)數(shù)：1V/數(shù)量級(jí),0-10VDC B-A規(guī)和其它兼容熱燈絲類(lèi)型的電離規(guī) |
| 靈敏度調(diào)整范圍 | 3/Torr至50/Torr |
| 標(biāo)準(zhǔn)電位計(jì) | 電離規(guī)管靈敏度和發(fā)射電流可調(diào) |
| 線纜 | 30米至61米（可指定） |
控制器尺寸 | 241mm*89mm*273mm（允許數(shù)據(jù)線接口深度+5cm） |
| 操作溫度 | 40℃ |
電源要求 | 100/115/230 ±10%VAC（由用戶選定）,250W,50Hz/60Hz |
| 其它可用模塊和功能規(guī)格 | |
可用的計(jì)算機(jī)接口 | IEEE-488（并行） |
| RS232/RS485串行 波特率：可選擇75（僅限RS232）、150/300/600/1200/2400/3600/4800或9600；19.2K（僅限RS485） 適用于壓力數(shù)據(jù)輸出和設(shè)定點(diǎn)狀態(tài) 為IG1、IG2和DEGAS提供遠(yuǎn)程打開(kāi)/關(guān)閉控件 | |
| 高性能的超高真空（UHV）電位計(jì) | 發(fā)射電流為10mA時(shí)的壓力讀數(shù)下限擴(kuò)展到2X10-11Torr 提供電子轟擊除氣電源調(diào)整控件 附帶單獨(dú)的靈敏度調(diào)整控件和單獨(dú)發(fā)射控件，可分別控制兩個(gè)電離規(guī) |
| 高壓操作 | 在規(guī)管測(cè)量的整個(gè)范國(guó)內(nèi)，讀數(shù)分辨率高達(dá)兩位數(shù)(10-4Torr除外) |
| Convectron真空計(jì)功能 | 可運(yùn)行Granville-Phillips的兩個(gè)275規(guī)管 壓力范圍1×10-4托至990托 溫度 耐烘烤溫度高達(dá)150°C(非工作狀態(tài)) 操作溫度為4-50℃ 規(guī)管環(huán)境補(bǔ)償溫度范圍15-50℃ 插口連接方式，便于輕松安裝傳感器(即便在"盲區(qū)"也是如此) 模擬量輸出，對(duì)數(shù)1V/數(shù)量級(jí)，0-7伏直流電?？蓪⒅绷麟姷钠屏空{(diào)整+1至-7伏 |
熱偶規(guī)功能 | 可運(yùn)行Granville-Phillips的兩個(gè)270規(guī)管 壓力范圍1X10-3托至1托 模擬量輸出，非線性0-10VDC 注意Convectron和熱電偶儀表主板選件均包括電離規(guī)的自動(dòng)打開(kāi)功能。 |
電容薄膜規(guī)功能 | 運(yùn)行一個(gè)GP規(guī)管和一個(gè)電容薄膜規(guī) 電容薄膜規(guī)的范圍1-10-100-1,000托 ±15VDC 250mA的電源 |
過(guò)程控制 | 兩個(gè)通道(僅限電離規(guī)) 六個(gè)通道(適用于所有規(guī)管) 壓力相關(guān)的繼電器(設(shè)置點(diǎn))支持用戶選擇壓力 ·繼電器配置SPDT(單刀雙擲) 繼電器觸點(diǎn)容量：250V AC電阻負(fù)荷為5A時(shí)，觸點(diǎn)額定值為30VDC; 5A鍍金觸點(diǎn)可用于低電平轉(zhuǎn)換 |
雙電離規(guī)操作 | 兩個(gè)規(guī)管先后工作 熱燈絲型電離規(guī)管，例如B-A規(guī) |
遠(yuǎn)程輸入和輸出 | 為IG1、IG2和故障檢測(cè)提供狀態(tài)繼電器觸點(diǎn) 為IGI、IG2和除氣提供遠(yuǎn)程打開(kāi)/關(guān)閉控制 為前面板開(kāi)關(guān)提供鎖定裝置 |
| 除氣 | 電子轟擊(EB)：10-40瓦特(可調(diào)整) I2R：額定電壓為8伏，固定功率為80瓦特 如果已選擇EB除氣，建議使用UHV電位計(jì)可進(jìn)行除氣電源調(diào)整與發(fā)射電流設(shè)置無(wú)關(guān) |