半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
MADEE5000系列是大型平板顯示器制造工廠里主要使用，是半導(dǎo)體制造公證主要活映在工藝腔體中。
特點(diǎn)
流量比控制器
快速響應(yīng)時(shí)間: ≤3Sec
高精度: ≤2% of S.P
多頻道可用: 5000s 2~6CH / 5100s 2~4CH
耐腐蝕性強(qiáng): 電拋光<0.1um RA
通訊:D-NET / EtherCAT
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | MADEE5000 | ||||
| 流量范圍（N2等效） | 300SCCM~2SLM | ||||
| 流量控制范圍 | 3~100% of F.S | ||||
| 精確度 | ≤±0.5%of F.S (3~25%) ≤±2.0% of S.P (25~100%) | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤3秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時(shí)間 | ≤±0.3%滿量程 | ||||
| 零穩(wěn)定性 | ＜±0.5%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤濕材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) | ||||
| 密封件類型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | Metal: ≤5X10-12Pa?m3/S(He) PTFE : ≤1X10-8Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5~50?C(Recommended : 15~35?C) | ||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 30min (Accuracy Guaranteed : 60min) | ||||
| 最大入口壓力 | 100kPa(A) | ||||
| 工作壓差 | ≥20kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | 24VDC,7.2W max (reference for 1 channel) | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購參數(shù)確認(rèn)單