真空設(shè)備如何選用真空泵
真空設(shè)備如何選用真空泵
真空設(shè)備產(chǎn)品可分為五大類:
(1)真空獲得設(shè)備:產(chǎn)生、改善或維持真空的裝置。包括各種獲得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空機(jī)組。
A、機(jī)械真空泵:旋片泵、往復(fù)泵、滑閥泵、羅茨泵、分子泵和液環(huán)泵等。
B、蒸汽流真空泵:水蒸汽噴射泵、油增壓泵和油擴(kuò)散泵等。
C、氣體捕集真空泵:鈦濺射離子泵、低溫泵、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。
D、真空機(jī)組:即由產(chǎn)生真空、測(cè)量真空和控制真空等組件組成的各類機(jī)組。
(2)真空應(yīng)用設(shè)備:在真空環(huán)境下(低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)),應(yīng)用的各種設(shè)備
A、真空鍍膜機(jī):蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積裝置等。
B、真空冶煉爐:電阻爐、電子束爐、電弧爐、感應(yīng)爐和單晶爐等。
C、真空熱處理爐:淬火爐、回火爐、退火爐、滲氮爐和滲金屬爐等。
D、其它真空設(shè)備:冷凍干燥設(shè)備、蒸餾設(shè)備、提純?cè)O(shè)備、浸漬設(shè)備、果蔬保險(xiǎn)設(shè)備、運(yùn)輸設(shè)備、空間模擬設(shè)備、包裝機(jī)和鋼水脫氣裝置等。
(3)真空測(cè)量儀器:測(cè)量低于一個(gè)大氣壓的氣體和蒸汽壓力的儀器。
A、低真空計(jì)(測(cè)量范圍105--102Pa)
B、中真空計(jì)(測(cè)量范圍l02一l0-1Pa)
C、高真空計(jì)(測(cè)量范圍l0-1一10-5Pa)
D、超高真空計(jì)(測(cè)量范圍< 10-5Pa)
(4)真空檢漏儀:檢測(cè)真空系統(tǒng)或元件漏孔的位置或漏率的儀器。包括高頻火花檢漏儀、鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀等。
(5)真空閥門:在真空系統(tǒng)中,用于調(diào)節(jié)流量、切斷或接通管路的元件。包括插板閥、擋板閥、電磁閥、電磁帶放氣閥、隔膜閥和調(diào)節(jié)閥等。
為能夠更好的選擇并使用真空泵,需要注意以下幾點(diǎn):
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若是工藝過程不支持,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)的一系列措施。
2、了解被抽氣體成分,氣體中有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵的時(shí)候需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體時(shí)需要選擇相應(yīng)的泵。若是氣體中含有蒸汽、顆粒以及腐蝕性的氣體,需要考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,可以排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部的氣體量。
4、正確地組合真空泵。有的時(shí)候選用一種泵滿足抽氣要求由于真空泵有選擇性抽氣,需要幾種泵組合相互補(bǔ)充才能滿足抽氣的要求。如果鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但是不能進(jìn)行抽氦,而三極型濺射離子泵,對(duì)氬有一定的抽速兩組合起來,則會(huì)使真空裝置得到相應(yīng)多的真空度。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備明確要求無油時(shí),應(yīng)該選用各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等,如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染的措施。
6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)比較合適,而不能讓它坐在25~30mmHg下長期的工作。
7、真空泵排出的油蒸汽對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選擇無油性真空泵,或者把油蒸汽排出室外。
8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)的要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
9、還需考慮真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用,結(jié)合實(shí)際情況選擇性價(jià)比高的真空泵。
來源:PVD鍍膜