AIM冷陰極真空計
AIM冷陰極真空計
Edwards AIM倒磁控管冷陰極真空計,在一個緊湊的裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場合,均已證明AIM真空計堅固可靠。標(biāo)準(zhǔn)AIM真空計具有線性輸出,nAIM支持RS232和RS485信號輸出,易于與計算機或 PLC 結(jié)合使用。
特點
電子模塊與規(guī)頭合并在一起,降低了系統(tǒng)成本并節(jié)省了寶貴的機架空間
低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供級別較高的抗擾性,并允許使用長電纜(長可達 100 m)
低磁場型 XL 適用于敏感性應(yīng)用,例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡。
可更換的管體允許快速更換管件而無需預(yù)校準(zhǔn)
已獲 CSA C/US 認證
范圍廣泛、符合標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標(biāo)準(zhǔn)直流電,對電壓波動有很好的承受力
0 到 +10 V 直流電壓的標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出和真空計標(biāo)識符允許輕松連接計算機或 PLC 和進行故障輸出指示
nAIM支持串口信號輸出:RS232/RS485
電極維修套件允許用戶進行清潔和維護
獨特的放電器設(shè)計確保即使在高真空或污染環(huán)境下也可以快速放電
寬廣的壓力范圍
應(yīng)用
適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的所有需要可靠穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。
典型制程包括:
一般真空到工業(yè)鍍膜機
真空爐
科學(xué)儀器
半導(dǎo)體等各種應(yīng)用。
技術(shù)規(guī)格
壓力范圍 | |
AIM-X | 10-2 至 10-9 mbar |
準(zhǔn)確度* | 通常為 ±30% |
較大過壓 | 10 bar 絕對 (145 psi) |
電源供給 | +13.5 至 +36 V 直流(1 V 波動) |
功耗 | 2 W |
輸出信號(AIM) | 2 至 10 V 直流 |
輸出信號(nAIM) | RS232或RS485 |
設(shè)定點 | 開路集電極晶體管 |
電壓 | 40 V 直流 |
電流 | 100 mA |
溫度范圍 | |
工作 | +5 至 +60°C |
存儲 | 0 至 +70 °C |
暴露于真空中的材料 |
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NW25 型 | 不銹鋼 304/306/347、氟橡膠、玻璃 |
內(nèi)部體積 | 26 cm3 |
重量 | 0.81 kg |
外部接口連接器 | FCC68/RJ45 插座,D-sub 9針接口 |
真空接頭 | NW25 |
標(biāo)準(zhǔn) |
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電磁兼容性 | EN 61326 |
(B 類排放) | |
外殼等級 | IP40 |