SQC-310 薄膜沉積控制器憑借技術(shù)、增強(qiáng)的顯示和實(shí)惠的價(jià)格，INFICON SQC-310 系列提供同類(lèi)薄膜控制器更多的優(yōu)勢(shì)。您可以為自己的應(yīng)用選擇理想的型號(hào)：連續(xù)沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。
特點(diǎn)
明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網(wǎng)）
設(shè)有 “Quick Setup”（快速設(shè)定）菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作
用于開(kāi)發(fā)、測(cè)試和下載過(guò)程的 Windows程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過(guò)程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
精確的過(guò)程控制，尤其適用于低沉積速率，測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù)，測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過(guò)程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | SQC310 | SQC310C | |
| QCM輸入 | 2（可選4） | 4 | |
| 測(cè)量頻率范圍 | 可調(diào): 1.0 MHz較低 6.5 MHz較高 | ||
| 頻率分辨率 0.25s測(cè)量間隔 | ± 0.012Hz | ||
| 厚度和速率分辨率/測(cè)量 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6赫茲，0.25秒測(cè)量間隔 | ±0.015 ? | ||
| 頻率穩(wěn)定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
| 測(cè)量周期 | 0.10至1s（可調(diào)） | ||
| 速率顯示 | 0.01 ?/sec | ||
| 控制 存儲(chǔ) 輸出信號(hào) 數(shù)字輸入 | 0至+10VDC 5VDC-非隔離 | ||
| 設(shè)定點(diǎn)繼電器 | 8/8（16/16可選） | 16/16 | |
| 電氣接口 | RS232標(biāo)準(zhǔn)（USB、以太網(wǎng)口可選） | ||
| 電源電壓 | 100-240VAC，25W | ||
| 標(biāo)準(zhǔn) | CE，RoHS | ||
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