SQM-220薄膜沉積控制器
SQM-220薄膜沉積控制器
SQM-220薄膜沉積控制器高達(dá)6個通道的輸入和兩個額外的真空計通道，加上7英寸TFT顯示使SQM-220更加通用和方便。可以將傳感器的輸入分配給具有不同參數(shù)的不同材料，由DSP處理器控制的高速高精度測量過程提高了薄膜的質(zhì)量和可重復(fù)性。具有精度高、穩(wěn)定性好、儀器配置合理等特點。自動保存功能，保存的參數(shù)/單位預(yù)置，在重啟后可以自動應(yīng)用。
特點
6個通道，用于帶石英天平的厚度監(jiān)視器傳感器
7”TFT觸摸面板顯示
直觀的多語言界面
二維實時圖表模塊（可選）
緊湊的設(shè)計
兩個真空計通道
多達(dá)8個shutters和I/O可重新編程
繼電器輸出
用于速率和厚度監(jiān)控的可編程模擬輸出，具有16位分辨率
通訊接口:RS232/485，以太網(wǎng)IP
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)6MHz晶體
頻率分辨率:0.1 Hz(適用于220-010)或0.01 Hz(適用于222-010)
快速的SE和LabVIEW庫
可操作兩個多晶傳感器頭(氣動或步進(jìn)電機(jī))
19“機(jī)架裝配或獨立
一鍵式材料更改
常用材料的收藏夾列表
保存?zhèn)€人用戶配置文件
內(nèi)置視頻教程
應(yīng)用
用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英晶體振蕩器的頻率在時間上的變化（以圖形的形式）。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發(fā)速率。適用于如MBE應(yīng)用
技術(shù)規(guī)格
| 傳感器輸入通道 | 6 |
| 膜厚 | 0 - 9999000 ? |
| 速率 | 0 - 9999 ?/s |
| 兼容的傳感器 （兩個通道） | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION等 |
| 頻率分辨 | 0.1 Hz (220-010) ；0.01 Hz (222-010) |
| 頻率范圍 | 2-6MHz |
| 膜厚分辨 | 220-010: 0.1 ? ；222-010: 0.01 ? |
| 速率分辨 | 220-010: 0.1 ?/s ；222-010: 0.01 ?/s |
| 頻率穩(wěn)定性 | 0.5ppm |
| Tooling factor | 1 – 400% |
| 測量單位 | ?,K?,nm |
| 測量類型 | 100ms至2s（取決于220-010/222-010） |
| Shutter控制 | 手動，時間，膜厚 |
| Shutter時間 | 1 - 1000000 s |
| 真空計輸入通道 | 2 |
| 壓力單位 | mbar, Pa, Torr, Psia |
| 除氣時間 | 1-3分鐘 |
| 輸出 | 8個繼電器輸出(2個輸出有COM NC和NO觸點) 2個模擬輸出: 0-10V(厚度、速率、壓力) |
| 輸入 | 4個數(shù)字輸入(24V邏輯) |
| 通訊接口 | RS232/485,Ethernet |
| 用戶界面 | 7寸TFT觸摸屏 |
| 語言 | 英語，德語 |
| 通訊協(xié)議 | MODBUS-TCP |
| 尺寸 | 212.6 x 128.4 x 260.9 mm |
| 重量 | 3Kg |
| 電源要求 | 100-240VAC, 50/60Hz, Max 100W |