半導體質量流量控制器
半導體質量流量控制器
隨著半導體工藝的精細化為了克服 Capacitor的體積變小，相應地減少容量高介電常數(shù)的High-K物質用于薄膜.用于半導體進程的'液體材料'的為了使絕緣膜更薄、更均勻地沉積，必須準確控制液體與燈泡體的流量.MKP的ARI7000系列是一個精確質量流量的液體和前體系統(tǒng)提供給大家在半導體最佳工藝中最佳性能保障.
特點
液體 & 前體用 MFC
快速響應時間: <3Sec
高精度: ≤1% of F.S
高重復性: ≤±1% of F.S
耐腐蝕性強: 電拋光<0.1um RA
通訊: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術規(guī)格
| 型號 | ARI 7000 | ||||
| 流量范圍(g/min , IPA 等效) | 0.5 to 1g/min | ||||
| 流量控制范圍 | 5~100% of F.S. | ||||
| 精確度 | ≤±1% of F.S. | ||||
| 響應時間 | ≤3秒（≤SEMI標準） | ||||
| 重復時間 | ≤±1%滿量程 | ||||
| 溫度系數(shù) | ±0.2%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤濕材料 | STS316L & Electro-Polished(<0.1um RA), PTFE | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5 to 55 ℃ (Recommended : 25~50?C) | ||||
| 最大入口壓力 | 500 kPa(G) | ||||
| 工作壓差 | ≥200 kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +14~30VDC, 3.5W max | ||||
質量流量控制器訂購參數(shù)確認單