殘余氣體分析儀
殘余氣體分析儀
XT系列
Extorr是一家專業(yè)研究及生產(chǎn)殘余氣體分析儀（RGA）的公司，擁有XT系列殘余氣體分析儀，原理是四極質(zhì)譜儀，RGA內(nèi)置電阻規(guī)和離子計。是一種重要的測量設(shè)備，可用于任何真空系統(tǒng)。Extorr XT殘留氣體分析儀(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu質(zhì)量數(shù)范圍。RGA配置一個標(biāo)準(zhǔn)的CF2.75英寸法蘭。每個功能都具有自動啟動和關(guān)閉，并將不斷監(jiān)測從大氣壓至超高真空。內(nèi)置的皮拉尼壓力計和離子壓力計不斷監(jiān)測總壓力，并調(diào)節(jié)和保護(hù)RGA。這些功能被無縫地集成到Extorr VacuumPlus軟件包中。
特點
內(nèi)置皮拉尼壓力計和離子壓力計的殘余氣體分析儀
1-100、1-200和1-300 amu質(zhì)量數(shù)范圍可選
標(biāo)準(zhǔn)法拉第探測器（FC）與可選的電子倍增器（EM）
實時Windows軟件能夠進(jìn)行多臺RGA同時操作
現(xiàn)場可更換兩根敷釷的銥絲
優(yōu)于1 amu分辨率
8個數(shù)量級的動態(tài)范圍在一次掃描
質(zhì)譜，泄漏檢測和壓力隨時間的變化
內(nèi)建診斷，容易升級的軟件和固件
完全可插入的探頭
應(yīng)用
泄漏測試
等離子體特性
基準(zhǔn)壓力監(jiān)測
表面科學(xué)
真空工藝監(jiān)控
真空技術(shù)教育
真空爐監(jiān)控
材料制造
電子顯微鏡
材料分析
RGA技術(shù)規(guī)格
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | |
| XT100 | 1-100 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT200 | 1-200 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT300 | 1-300 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT100M | 1-100 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM) |
| XT200M | 1-200 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM) |
| XT300M | 1-300 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM) |
| 類型 | 四極質(zhì)譜儀 |
| 探測器類型 | 標(biāo)準(zhǔn)：法拉第杯 (FC) 可選：電子倍增器 (EM) |
| 分辨率 | 大于0.5 amu@10%峰值高度?？稍谡麄€質(zhì)量范圍內(nèi)調(diào)節(jié)至恒定的峰值寬度。 |
| 靈敏度（A/Torr） | 5×10-4Torr（FC）。用戶可在整個高壓范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。用N2@28 amu測量，全峰寬1 amu，高度10%，電子能70 ev，離子能6 ev，電子發(fā)射電流2 mA。 |
| 可檢測分壓 | 5 × 10–11 Torr (FC) 5 × 10–14 Torr (EM) |
| 工作范圍 | RGA：≤10–4 Torr 皮拉尼計：10–3 Torr至大氣壓 離子計：≤10-2Torr |
| 工作溫度 | 電路部分：50℃ 探頭：100℃ |
| 烘烤溫度 | 300℃（僅探頭，移除電路部分） |
| 總壓強測量 | 皮拉尼計：10-3 Torr 至大氣壓, 離子計：2 x 10-10 Torr至10-2 Torr |
| 離子源 | |
| 設(shè)計 | 開放離子源，電子撞擊電離 |
| 材質(zhì) | SS304、Kovar、鎢、氧化鋁、銥、銅、鎳、氧化釷、白金 |
| 燈絲 | 雙釷涂層銥燈絲，帶固件保護(hù)。內(nèi)置1到30W的電子脫氣裝置（可現(xiàn)場可更換） |
| 電子能量 | 11至150V,可編程的 |
| 離子能量 | 1至12V,可編程的 |
| 聚焦電壓 | 0至150V,可編程的 |
| 發(fā)射電流 | 0.1至4 mA,可編程的 |
| 其他參數(shù) | |
| 探頭長度 | 172.72mm，從法蘭到頂端 |
| 法蘭 | CF40（2.75”） |
| 探頭管內(nèi)徑 | 35mm |
| 電路部分體積 | 84 x 122 x 188mm, 可拆卸 |
| 預(yù)熱時間 | 30分鐘質(zhì)量穩(wěn)定性±0.1 amu |
| 計算機接口 | RS-232C, 至高115,200波特率,或USB. |
| PC要求 | PC運行Windows 2000, XP, 7,8或10系統(tǒng)，1024 x 768VGA圖形顯示器，鍵盤，鼠標(biāo)，光盤驅(qū)動器，和一個未使用的USB或RS-232C端口。 |
| 軟件 | 隨機附帶VacuumPlus窗口軟件，基于應(yīng)用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系統(tǒng) |
| 電源 | 24 VDC @ 2.5 Amps，120/240 VAC電源適配器. |
| 重量 | 2.27Kg（探頭及電路部分） |