倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計
MPG55x / MAG55x
倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計
MPG55x / MAG55x
INFICON 倒置磁控管真空計是所有真空測量應(yīng)用的動力源泉。 MPG50x將兩項傳感器技術(shù)整合在一個小裝置中，測量范圍從大氣壓至1 × 10-9毫巴；而 MAG50x是一個純冷陰極傳感器系統(tǒng)(不含皮拉尼元件)，測量范圍從1 × 10-2毫巴至1 × 10-9毫巴。超 低雜散磁場設(shè)計為全新的應(yīng)用領(lǐng)域開啟了大門。可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護(hù)，使其成為同類產(chǎn)品中堅固耐用的經(jīng)濟(jì)型真空計。
MAG和MPG Gemini現(xiàn)在提供EtherCAT現(xiàn)場總線和設(shè)定點MAG55x和MPG55x。
優(yōu)勢
在惡劣環(huán)境下，使用壽命長
可靠的快速點火
低雜散磁場
可選測量電流
快速維護(hù) — 可更換電離室
耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件
EtherCAT和RS232/RS485數(shù)字接口
緊湊尺寸，易于集成
2個繼電器設(shè)定點(MxG55x)
應(yīng)用范圍
基礎(chǔ)壓力監(jiān)測和控制，在蒸發(fā)和濺射鍍膜應(yīng)用中，測量范圍從大氣壓到高真空。
一般真空測量 — 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導(dǎo)體、生產(chǎn)實驗室。
分析和研發(fā)應(yīng)用 — 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學(xué)、醫(yī)療和高能物理。
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