半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
MARU7000系列是 前，后段的壓力變化里安全流量突出的‘Pressure Insensitive' 裝裁技能提高產(chǎn)品的安全性. 而且 中，大流量里堅(jiān)硬的螺線管閥門板低流量里堅(jiān)硬的壓電閥門全部提供給消費(fèi)者多方面使用環(huán)境里可以選擇使用。
特點(diǎn)
熱感式 MFC
快速響應(yīng)時(shí)間: ≤1Sec
高精度: ≤1% of S.P
耐腐蝕性強(qiáng): 電拋光<0.1um RA
高流量穩(wěn)定性: 強(qiáng)大的PI功能(10psi)
支持MGMR功能
通訊:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | Maru 7000 | ||||
| 流量范圍（N2等效） | 5SCCM~30SLM | ||||
| 流量控制范圍 | 2~100% of F.S | ||||
| 精確度 | ≤±0.25%讀數(shù)（2~25%量程） ≤±1.0%滿量程（25~100%量程） | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時(shí)間 | ≤±0.15%滿量程 | ||||
| 閥門關(guān)閉時(shí)的內(nèi)部泄漏 | ≤0.01% of F.S | ||||
| 零點(diǎn)穩(wěn)定性 | ＜±0.5%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤(rùn)濕材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) & Option :HASTELLOY | ||||
| 閥座 | METAL / PTFE | ||||
| 密封件類型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5~50?C (Recommended : 15~35?C) | ||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 壓力不敏感 | ≤±2%of F.S Up/down to 10psi(69kPa)/sec | ||||
| 工作壓差 | ≥50kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +15~24VDC,7.2W max | ||||
| 閥門類型 | Normally ClosedSolenoid or Normally OpenedSolenoid | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購(gòu)參數(shù)確認(rèn)單