潘寧真空計
潘寧真空計
INFICON 潘寧真空計 PEG100 可以提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象。由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低，潘寧真空計還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運行?，F(xiàn)場總線選件以及對數(shù)模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議，將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中。
特點
測量范圍可達 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
全金屬冷陰極傳感器（潘寧）帶有陶瓷饋入裝置
新創(chuàng)的電極幾何形狀提供卓越的點火屬性
等離子點火后高壓降低以及采用鈦陰極板，降低了污染風險，即使是使用氬氣進行濺射操作期間
陽極環(huán)和鈦陰極可以輕松進行清潔或更換
降低真空計附近的磁場強度
LED 指示器用于顯示電源及等離子點火狀態(tài)
對數(shù)模擬輸出信號
現(xiàn)場總線接口（Profibus DB、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中
應(yīng)用
高真空壓力監(jiān)控
蒸發(fā)鍍?yōu)R系統(tǒng)
高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
技術(shù)規(guī)格
| 型號 | PEG100 | |
| 測量范圍 | 1 × 10E-9至10E-2 mabr | |
| 精度（N2） | ≈±30%讀數(shù) | |
| 重復(fù)性 | ≈±5%讀數(shù) | |
| 輸出信號 | 0 至 +10.6VDC | |
| 電源電壓 功率 | +14.5至+36Vdc ≤2 W | |
| 電氣連接件 | FCC 8腳 | |
| 工作溫度 | +10至+50℃ | |
| 安裝方位 | 任何 | |
| 防護等級 | IP40 | |
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