61.3 蝶形控制閥
快速且精準(zhǔn)的下游壓力控制
61.3 蝶形控制閥
快速且精準(zhǔn)的下游壓力控制
61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門(mén)開(kāi)度的流導(dǎo)特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置，以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。
該系列產(chǎn)品專(zhuān)為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計(jì)而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持完全正常運(yùn)行。
61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其卓越的可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、直接安裝選項(xiàng)，以及簡(jiǎn)單且輕松的維護(hù)，61.3 系列在各個(gè)方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)可簡(jiǎn)化在不同真空應(yīng)用中的集成。
優(yōu)點(diǎn)
卓越的壓力控制
運(yùn)行非?？?/p>
板載軟件，用于本地運(yùn)行
惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行
工藝可控性更好
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限
運(yùn)行成本低
技術(shù)規(guī)格
