半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體質(zhì)量流量控制器
MARU8000HT系列是 高溫環(huán)境里氣化的控制前驅(qū)體. 高溫環(huán)境里測(cè)定和控制技術(shù)計(jì)劃持續(xù)開發(fā)，將溫度范圍擴(kuò)大到200攝氏度.
特點(diǎn)
高溫用 MFC
快速響應(yīng)時(shí)間: ≤1Sec
兩種測(cè)量方法: Thermal, 壓力 Sensor
耐腐蝕性強(qiáng): 電拋光<0.1um RA
適用于150度高溫
支持纖薄型MFC: 具有緊密性
支持低壓差: ≥3.8kPa (最低 D.P)
通訊:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | MARU8000HT | ||||
| 流量范圍（N2等效） | 300SCCM~5SLM | ||||
| 流量控制范圍 | 2~100% of F.S (D-Net, E-CAT, RS485) 5~100% of F.S (0~5V, 4~20mA) | ||||
| 精確度 | ≤±0.3% of F.S (Flow Rate≤30%) ≤±1.0% of S.P (Flow Rate>30%) | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時(shí)間 | ≤±0.2%滿量程 | ||||
| 零穩(wěn)定性 | ＜±2%滿量程/年 | ||||
| 溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/℃ | ||||
| 表面潤(rùn)濕材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) | ||||
| 密封件類型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 90?C / 120?C / 150?C | ||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 4hour (Accuracy Guaranteed : 6hour) | ||||
| 最大入口壓力 | ＜Boiling Point (at Using Temperature) | ||||
| 工作壓差 | ≥3.8kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +15~24VDC, 7.2W max | ||||
質(zhì)量流量控制器訂購(gòu)參數(shù)確認(rèn)單