MG15真空計(jì)控制器
MG15真空計(jì)控制器
MG15能夠支持4個(gè)Active真空計(jì)和3個(gè)Passive真空規(guī)管，將測(cè)量范圍擴(kuò)展到2x10-12mbar。MG15可以完全由軟件控制，通過(guò)一個(gè)可用的接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。MG15還支持離子電流（Flux Monitor）的測(cè)量及顯示，單位是[nA]，相關(guān)的所有設(shè)定值和模擬輸出也會(huì)同步為[nA]單位。
特點(diǎn)
測(cè)量范圍從大氣壓到2x 10-12毫巴
壓力圖
壓力趨勢(shì)圖
測(cè)量濾波(low, med, hi)
控制幾乎所有商用的Bayard-Alpert離子計(jì)
有時(shí)間和功率限制的Bayard-Alpert脫氣
支持Ir/ W /Thoria燈絲
Bayard-Alpert超壓保護(hù)
可選擇的測(cè)量單位:mbar, Torr, Pascal, Psia
氣體特定修正與一個(gè)定制設(shè)置
單元超溫保護(hù)
10個(gè)單獨(dú)可編程的設(shè)定點(diǎn)，設(shè)定閾值和滯后功能
用戶定義的通道名稱
主動(dòng)測(cè)量真空計(jì)的自我識(shí)別
顯示離子束流
應(yīng)用
任何高真空和超高真空系統(tǒng)
極限壓力測(cè)量（從大氣到超高壓范圍）
可烘烤和不可烘烤系統(tǒng)
MBE離子束流規(guī)控制
技術(shù)規(guī)格
| 測(cè)量通道 | 7通道(Active真空計(jì):4個(gè); Passive真空規(guī):3個(gè)-訂購(gòu)時(shí)定義的數(shù)量) |
| 顯示范圍 | 2 x 10-12 mbar 至2 x 10+5 mbar |
| 測(cè)量范圍 Active真空計(jì) Passive真空規(guī) *與連接量規(guī)有關(guān) | 5 x 10-10 mbar 2 x 10-12 mbar |
| 其他測(cè)量* （Flux Monitor） | 離子束流（束流規(guī)應(yīng)用） |
| 發(fā)射電流 | 0.05mA至10mA |
| 設(shè)定點(diǎn)（每個(gè)通道的單獨(dú)編程） | 10個(gè)（4個(gè)NC/NO；6個(gè)NO） |
| 支持的Active真空計(jì) | Inficon,Leybold,Pfeiffer,MKS,ATMION真空計(jì)等 |
| 支持的Passive真空計(jì) | IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, GP274系列, SRS,ETI等 |
| 繼電器輸出帶有配置激活信號(hào) | 4個(gè)（發(fā)射電流，除氣） |
| 數(shù)字輸入 | 4 |
| 模擬輸出 | 4（0-10V） |
| 通訊協(xié)議 | Modbus |
| 通訊接口 | RS232/485/422, Ethernet,Profinet-可選（訂購(gòu)時(shí)注明） |
| 用戶界面 | 7寸TFT顯示及觸摸控制 |
| 電源 | 100-240VAC,50/60Hz,max 200W |
| 尺寸 | 212.6*128.4*260.3 mm |
| 重量 | 3.8Kg |
*允許顯示無(wú)源儀表的離子電流，而不是真空測(cè)量。電流用[nA]表示，相關(guān)的所有設(shè)定值和模擬輸出也用[nA]表示。