CDG025D-X3電容膜片真空計(jì)
CDG025D-X3電容膜片真空計(jì)
INFICON SKY CDG025D-X3 電容式隔膜真空計(jì)系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供零位穩(wěn)定性（包括氣壓突變的情況），預(yù)期使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D-X3 具有開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能。
特點(diǎn)
從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
防腐蝕陶瓷傳感器
長(zhǎng)期信號(hào)的優(yōu)秀穩(wěn)定性
溫度補(bǔ)償
傳感器受雙重防污染保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
寬范圍電源
2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
RS232 接口
無塵室合規(guī)
應(yīng)用
用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測(cè)量
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