HPG400皮拉尼高壓強(qiáng)電離真空計
HPG400皮拉尼高壓強(qiáng)電離真空計
INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓（1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓）范圍內(nèi)的壓力。HPG400 提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量，實(shí)現(xiàn)精確控制鍍膜濺射過程壓力。
特點(diǎn)
HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
高壓熱電離可以準(zhǔn)確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制
用戶可選的熱電離發(fā)射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過早燒毀
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng)用
對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜-濺射鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
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