BAG302離子真空計(jì)
BAG302離子真空計(jì)
INFICON Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的廣泛測(cè)量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計(jì) BAG302 能夠輕松地更換雙燈絲傳感器、內(nèi)置 OLED 顯示器、設(shè)定點(diǎn)繼電器和對(duì)數(shù)線性模擬輸出以及集成 RS485 數(shù)字接口，提高了集成靈活性。這些功能配以堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，使 BAG302 為其自身的基本壓力測(cè)量儀器帶來經(jīng)濟(jì)且可重復(fù)的過程，并提供高價(jià)值、低擁有成本的選擇。
特點(diǎn)
測(cè)量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
雙標(biāo)準(zhǔn)長使用壽命氧化釔銥絲
一體式主動(dòng)測(cè)量儀，內(nèi)置顯示器、設(shè)定點(diǎn)、模擬輸出和標(biāo)準(zhǔn)集成式 RS485 數(shù)字接口
帶鍵盤的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏，簡化設(shè)置、操作和編程
用戶可編程的設(shè)定點(diǎn)繼電器
用戶可編程的顯示器單位：mbar、Torr 或 Pa
用戶可選的發(fā)射電流自動(dòng)設(shè)換范圍
機(jī)械強(qiáng)度和堅(jiān)固性
各種法蘭的選擇
易于更換的傳感元件
合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、RoHS
應(yīng)用
對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍 | 1*10﹣9至5*10-2Torr/1.3*10-9至6.7*10-2mbar/1.3*10-7至6.7Pa |
精度 | 10-8至5*10-2Torr ±15%讀數(shù) |
重復(fù)性 | ±5%讀數(shù) |
顯示 | OLED,3位數(shù)+1位指數(shù)，Torr,mbar,Pa單位可選 |
X-射線極限 | 5*10-10Torr |
發(fā)射電流 | 100Μa,4mA或自由切換之間 |
除氣 | 3W,EB |
烘烤溫度 | 200℃，僅規(guī)管 |
安裝方式 | 任意 |
重量 | 270g |
數(shù)字接口 | RS485-ASCII協(xié)議 |
信號(hào)輸出 | 線性模擬量0-9V |
設(shè)定繼電器 | 1個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器,1W,30A直流或交流無感電阻 |
電源 | 20-28Vdc,30W,防止反轉(zhuǎn)保護(hù)和瞬態(tài)過電壓。 |
燈絲 | 雙氧化釔涂銥絲或雙鎢絲 |
電氣接口 | 9 Pin D-Sub模擬和9Pin D-sub RS485 |
認(rèn)證 | 符合CE標(biāo)準(zhǔn) |
環(huán)境認(rèn)證 | 符合RoHs標(biāo)準(zhǔn) |
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