358 Micro-Ion真空計(jì)控制器
358 Micro-Ion真空計(jì)控制器
Granville-Phillips 358系列控制器專門設(shè)計(jì)用于獲得Granville-Phillips Micro-lon真空規(guī)管的高性能。控制器能夠測(cè)量從下限1 0-9Torr(10-9mbar,10-9Pa)至5×10-2Torr(7×10-2mbar,7 Pa)范圍內(nèi)的壓力，在選配Convectron真空規(guī)管的情況下壓力測(cè)量可以延伸到大氣壓。
控制器性能可靠，結(jié)構(gòu)緊湊，易于使用，鋁擠型、半機(jī)架設(shè)計(jì)便于裝配到您的控制機(jī)架上。不常使用的控件位于前面板門之后，提供二個(gè)整齊有序的外觀大尺寸、明亮綠色、無(wú)閃爍LED數(shù)字顯示器使得測(cè)量結(jié)果清晰易讀，即使有一定距離也是如此。
可以對(duì)特定系統(tǒng)要求來(lái)配置358系列控制器，可以使用多達(dá)6個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器來(lái)控制各種系統(tǒng)功能，如切換閥、設(shè)置互鎖以及設(shè)置報(bào)警。通過(guò)使用RS-232或RS-485/422接口選項(xiàng)也可以集成到計(jì)算機(jī)控制的系統(tǒng)。
特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量可靠、機(jī)架安裝式控制器有助于Micro-Ion規(guī)管獲得非常好的性能。
真空壓力測(cè)試低至10-9Torr范圍(10-9mbar,10-7 Pa)。
Convectron真空規(guī)選項(xiàng)延伸壓力測(cè)量至大氣壓。
靈活的設(shè)計(jì)便于選配設(shè)定點(diǎn)繼電器和數(shù)字接口。
堅(jiān)固的金屬外殼抗噪音并符合CE認(rèn)證。
雙燈絲增加設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間。
超清潔規(guī)管結(jié)構(gòu)在抽氣過(guò)程中實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)。
Micro-lon測(cè)量技術(shù)
Granville-Phillips Micro-lon真空規(guī)是比較小的電離真空規(guī)，其壓力測(cè)量基于帶電電子與真空規(guī)管中氣體分子碰撞所產(chǎn)生的離子電流的量。通過(guò)多種改進(jìn)，在小體積內(nèi)取得了高性能。這些改進(jìn)包括獲得的雙離子收集極設(shè)計(jì)，可以優(yōu)化電子運(yùn)動(dòng)和離子收集。雙燈絲會(huì)很大限度地減少了計(jì)劃外停機(jī)。由于有第二根燈絲做備用規(guī)管可以工作到定期維護(hù)時(shí)再更換。超清潔結(jié)構(gòu)（包括所有組件的真空燒制和在潔凈度100級(jí)的潔凈室環(huán)境中的組裝）確保在真空室抽氣的過(guò)程中快速、可重復(fù)的響應(yīng)。
GP358系列真空計(jì)控制器特性與優(yōu)點(diǎn)
優(yōu)化Micro-lon規(guī)管性能：控制器專門設(shè)計(jì)用于獲得Micro-lon真空規(guī)的性能。通過(guò)適當(dāng)?shù)陌l(fā)射電流設(shè)置，Micro-lon規(guī)管的工作范圍可以涵蓋從5×10-2Torr至10 -10Torr (7×10-2至10-10mbar, 7 至 10-8 Pa)。
方便、選擇豐富的半機(jī)架控制器：機(jī)架設(shè)計(jì)節(jié)省了控制機(jī)架的空間。利用多種可選功能耒配置控制器以滿足自己的需要，這些功能包括雙Convectron真空規(guī)管讀數(shù)、處理設(shè)定點(diǎn)繼電器和數(shù)字接口等。鋁擠壓外殼高度抗對(duì)電氣噪聲，并且完全符合CE認(rèn)證
3行數(shù)字顯示：通過(guò)明亮、便于閱讀、無(wú)閃爍、綠色LED顯示器，用戶一眼即可監(jiān)控所有三讀數(shù)
雙Convectron選擇：在真空系統(tǒng)上的兩個(gè)位置提供準(zhǔn)確而可靠的真空壓力測(cè)量，范圍為從大氣壓至10-4Torr(10-4mbar,10-2Pa)。
提高了經(jīng)濟(jì)效益：模塊化設(shè)計(jì)使客戶可以僅購(gòu)買所需的功能，而無(wú)需花錢購(gòu)買不想要或不需要的功能。可現(xiàn)場(chǎng)更換選件板實(shí)現(xiàn)隨需要變化進(jìn)行輕松升級(jí)。
過(guò)程控制選件：提供多達(dá)六個(gè)過(guò)程控制設(shè)定點(diǎn)繼電器以控制其他真空設(shè)備，井提供安全互鎖。這些數(shù)字化控制的繼電器性能穩(wěn)定，調(diào)節(jié)方便。手動(dòng)操控功能有助于系統(tǒng)設(shè)置和維護(hù)
計(jì)算機(jī)接口選擇：利用RS-232或RS-485/422接口可以輕松與計(jì)算機(jī)控制的系統(tǒng)進(jìn)行集成。
通用電源：可在90和240伏之間的任何交流電流電壓下工作。
Micro-Ion真空規(guī)特性與優(yōu)點(diǎn)
世界上較小的電離規(guī)：Micro-Ion規(guī)管的體積只有不到常規(guī)玻璃管規(guī)或裸規(guī)體積的10%，可輕松安裝到復(fù)雜、排列緊湊的真空系統(tǒng)中。
高性能：獲得的雙離子收集極設(shè)計(jì)増加了電子路徑長(zhǎng)度并提高了離子收集效率，在小體積內(nèi)取得了高性能。
雙燈絲：雙耐燒氧化釔涂層銥制燈絲提供長(zhǎng)規(guī)管壽命。有第二根燈絲做備用可以使規(guī)管工作到定期維護(hù)時(shí)再更換，可避免計(jì)劃外停機(jī)。
工作溫度更低：只有傳統(tǒng)玻璃管規(guī)或裸規(guī)功耗的僅8%，Micro-lon規(guī)管產(chǎn)生的熱輻射對(duì)工藝或?qū)嶒?yàn)干擾大幅降低。
端口屏蔽：在組件或真空室保養(yǎng)期間保護(hù)電極組件免受損壞，并為改善測(cè)量性能提供一個(gè)穩(wěn)定的電氣環(huán)境。
全金屬外殼：防止安裝過(guò)程中損壞柵極和燈絲，消除玻璃破碎的風(fēng)險(xiǎn)。
真空接口選擇范圍廣：簡(jiǎn)化真空系統(tǒng)的安裝過(guò)程。
技術(shù)規(guī)格
| 空氣與N2的測(cè)量范圍 | （見注釋1、2） |
Torr | 1X10-9至5X10-2（至1000Torr，選配Convectron時(shí)） |
mbar | 1X10-9至7X10-2（至1300mbar，選配Convectron時(shí)） |
Pa | 1X10-7至7（至130Kpa，選配Convectron時(shí)） |
| 顯示器 | 綠色LED，2位加指數(shù) 更新率：每0.5秒 |
| 發(fā)射電流 | 0.02、1、4Ma,通過(guò)選擇開關(guān)選擇 |
| 除氣 | 電子轟擊,4W,帶2分鐘定時(shí)器 |
| 燈絲選擇 | 燈絲1、燈絲2或者二者，通過(guò)選擇開關(guān)選擇 |
| 過(guò)壓保護(hù) | 在出廠設(shè)置壓力上限時(shí)電離規(guī)關(guān)閉 |
| Micro-Ion模擬輸出 | 1V/量級(jí),對(duì)數(shù),0至10V |
| Micro-Ion線纜長(zhǎng)度 | 15米,標(biāo)準(zhǔn)線纜 |
輸入信號(hào) | 燈絲開/關(guān),除氣開/關(guān)以及選定的瞬間連續(xù)性 |
輸出信號(hào) | 由一個(gè)單刀雙擲繼電器指示規(guī)管狀態(tài) 額定值為1A 30VDC阻抗,交流無(wú)感電 |
| 電源 | 100至240VAC,50~60Hz,50W |
| 重量 | 1.8Kg |
| 連接器 | 9針D-Sub連接器 |
| 工作溫度 | 0至40℃環(huán)境溫度，非冷凝 |
| 非工作溫度 | -40到70℃ |
| 外殼材料 | 型鋁 |
| 符合CE標(biāo)準(zhǔn) | CE認(rèn)證 EMC指令89/336/EEC;EN50081-2;EN80082-2 低電壓指令73/23/EEC;EN61010-1 |
| Convectron選項(xiàng) | 兩個(gè)規(guī)管工作 |
模擬量輸出 | 1V/數(shù)量級(jí),對(duì)數(shù),0至7V,-7至1V可調(diào)便宜 |
電纜長(zhǎng)度 | 152.4M |
過(guò)程控制選件 | |
配置 | 單刀雙擲（SPDT）繼電器 |
觸點(diǎn)額定值 | 5A 30VDC,5A 120VAC,4A 240VAC,阻抗負(fù)載 |
| 數(shù)字接口 | RS485/422 ,RS232 |
Micro-Ion規(guī)管 | |
對(duì)N2或空氣的靈敏度 | 20/Torr,15/mbar,0.15/Pa |
X射線極限 | ＜3 X 10-10Torr, ＜4 X 10-10mbar, ＜4 X 10-8Pa（見注釋3） |
傳感器材料 | 氧化釔涂層銥絲或鎢絲（見注釋4） |
暴露于氣體的其他材料 | 304不銹鋼,氧化鋁,kovar合金,鉭,鎢,CuAg共晶 |
內(nèi)部容積 | 10.8cm3（0.66英寸3）至接口端面 |
規(guī)管重量 | 113g（帶KF16接頭） |
真空規(guī)烘烤溫度 | 200℃，非工作狀態(tài)，拆除電子設(shè)備 |
電纜烘烤溫度 | 150℃, |
| Convectron規(guī)管 | |
安裝位置 | 首選水平 |
傳感器材料 | 鍍金鎢絲 |
暴露于氣體的其他材料 | 304不銹鋼，硼硅玻璃,kovar合金，礬土，NiFe合金，聚醯亞胺 |
內(nèi)部容積 | 35cm3 |
規(guī)管重量 | 85g（1/8NPT） |
真空規(guī)工作溫度 | 0至50℃環(huán)境溫度，非冷凝 |
真空規(guī)烘烤溫度 | 150℃，非工作狀態(tài)，拆除電子設(shè)備 |
電纜烘烤溫度 | 105℃, |
1.測(cè)量結(jié)果隨不同的氣體及混合物而有所變化在使用說(shuō)明書中提供有常見氣體的校正曲線Micro-Ion規(guī)管和Convectron規(guī)管不可用于易燃易爆氣體。
2.要測(cè)量低于壓力1×10-7Torr(1×10-7mbar,1×10-5Pa)，建議使用ConFIat型或VCR型真空連接。
3.X射線極限是真空計(jì)顯示。接近X射線極限進(jìn)行可重復(fù)測(cè)量不可行。
4.鎢絲用于涉及含有氟、氯的氣體或含有污染氯化釔涂層銥絲的其他氣體。一般真空應(yīng)用不建議便用鎢絲，因?yàn)殒u絲暴露于高壓時(shí)有可能燒斷。