356 Micro-Ion Plus
356 Micro-Ion Plus
Granville-Phillips 356 Micro-lon Plus真空規(guī)模塊合并了新的微型Conductron熱損失傳感器和經(jīng)驗(yàn)證的Micro-lon規(guī)管技術(shù)于個(gè)真空封套中，從而擴(kuò)展了從高真空到大氣壓的壓力測(cè)量。
兩個(gè)號(hào)感器合并在一個(gè)真空封套中節(jié)省了空間。真空系統(tǒng)控制通過使用熱損失傳感器來(lái)激活和關(guān)閉電離規(guī)而得到簡(jiǎn)化。方便的按鈕控制可以進(jìn)行模塊操作機(jī)兩個(gè)觸點(diǎn)繼電器的設(shè)定，無(wú)需通過電氣控制或計(jì)算機(jī)接口來(lái)實(shí)現(xiàn)。兩種型式的模塊可供選擇——帶模擬量輸出的RS-485接口或DeviceNet接口。
特點(diǎn)
從高真空到大氣壓的擴(kuò)展測(cè)量范圍
兩個(gè)傳感器在一個(gè)節(jié)省空間的設(shè)計(jì)中
電離規(guī)雙燈絲結(jié)構(gòu)可延長(zhǎng)設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間
電離規(guī)自動(dòng)點(diǎn)亮和關(guān)閉
帶有按鈕可供手動(dòng)操作及調(diào)校
兩個(gè)觸點(diǎn)繼電器用于安全互鎖控制
復(fù)合規(guī)管技術(shù)
要在一個(gè)跨度較寬的高真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)全壓力范圍的測(cè)量需要多個(gè)傳感器技術(shù)。以往這需要多個(gè)規(guī)管，多個(gè)真空連接口，以及多套電纜和電氣控制組件來(lái)實(shí)現(xiàn)。因此復(fù)合多傳感器技術(shù)于一個(gè)微型規(guī)管中有很大益處，只要傳感器之間互不干擾以及測(cè)量特性互不損壞。這些都由Micro-lon Plus設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了。它保留了Granville-Phillips Micro-lon規(guī)管設(shè)計(jì)的高性能同時(shí)配合新的微型熱損失傳感器封裝在電離規(guī)管中。新獲的Conductron熱損失傳感器是基于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的Conductron規(guī)管20多年的市場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)的理解和領(lǐng)悟而獲得的。
寬量程、高性能和緊湊尺寸使得Micro-Ion Plus模塊成為高真空系統(tǒng)壓力測(cè)量的優(yōu)質(zhì)選擇。
Micro-lon Plus真空計(jì)特性及優(yōu)勢(shì)
寬量程：可以買現(xiàn)從1×10-9Torr(1×10mbar，1x 10-Pa)到大氣壓的連續(xù)真空系統(tǒng)特性監(jiān)控。熱量更少些。
簡(jiǎn)化的模塊設(shè)計(jì)：電子器件和傳感器打包在一起組成一個(gè)緊湊、簡(jiǎn)便的安裝模塊，避免了多個(gè)規(guī)管、電纜和電子器件的需要。
控制系統(tǒng)簡(jiǎn)化：內(nèi)部集成的熱損失傳感器可以自動(dòng)控制激活和關(guān)斷電離規(guī)，避免了額外的電離規(guī)控制需要。
RS-485、模擬量輸出及遠(yuǎn)程I/O：除了RS-485通訊和模擬量輸出外，模塊還提供規(guī)管開/關(guān)，除氣、大氣校準(zhǔn)，及鎖鍵盤的輸入控制連同規(guī)管、燈絲和除氣的狀態(tài)輸出。
工藝設(shè)定點(diǎn)：繼電器觸點(diǎn)可以用來(lái)控制其他真空設(shè)備和提供安全互鎖。設(shè)定值可以通過本地顯示界、RS-485或DeviceNet接口進(jìn)行調(diào)整
本地顯示(選項(xiàng))：可以指示當(dāng)前點(diǎn)壓力值并能本地進(jìn)行工藝設(shè)定點(diǎn)調(diào)整的綠色LED顯示和按鈕改善了建立時(shí)間和診斷能力。
DeviceNet接口型：提供壓力測(cè)量的高速讀取并實(shí)現(xiàn)規(guī)管參數(shù)的簡(jiǎn)單配置。
DeviceNet網(wǎng)絡(luò)供電彈性化：規(guī)管供電既可以通過DeviceNet的微型接口實(shí)現(xiàn)也可以通過單獨(dú)的連接實(shí)現(xiàn)。
CE認(rèn)證：全金屬封裝具有高水隹的抗射頻干擾能力。
世界上較小的復(fù)合規(guī)：Micro-lon Plus復(fù)合了新的微型Conductron熱損失傳感器和一個(gè)Micro-Ion傳感器在一個(gè)真空規(guī)管中，其體積不足傳統(tǒng)電離規(guī)的10%
高性能：完整的Micro-Ion設(shè)計(jì)保留的雙離子收集極從而增加了電子路徑和離子收集效率，在小容積內(nèi)提供高性能。
雙電離規(guī)燈絲：兩根耐燒斷的鍍氧化釔的銥絲實(shí)現(xiàn)了更長(zhǎng)的規(guī)管壽命。利用第二根燈絲做備份可使規(guī)管工作到正常的維護(hù)周期再更換，避免了意外停機(jī)
工作溫度更低：Micro-Ion規(guī)管只有傳統(tǒng)玻璃管規(guī)或裸規(guī)功耗的8%，這就使得它產(chǎn)生的干擾工藝或試驗(yàn)的熱量更少些。
穩(wěn)固的全金屬設(shè)計(jì)：焊接元件、真空燒結(jié)及裝配均在潔凈環(huán)境下完成，然后將各元件封裝在不銹鋼外殼中以確保傳感器的集成。
接口篩網(wǎng)：保護(hù)裝配及真空系統(tǒng)維護(hù)中電極組件不受損壞，提供穩(wěn)定的電氣環(huán)境改善測(cè)量性能。
真空接口的多種選擇：簡(jiǎn)化了規(guī)管在真空系統(tǒng)中的安裝。
更換規(guī)管：僅僅使用螺絲刀就可以快速便捷地更換規(guī)管
技術(shù)規(guī)格
技術(shù)規(guī)格
| 空氣與N2的測(cè)量范圍 | （見注釋1、2、3） |
Torr | 1X10-9至大氣壓 |
mbar | 1X10-9至大氣壓 |
Pa | 1X10-7至大氣壓 |
| 測(cè)量N2精度（見注釋4） | ±15%讀數(shù)，從1X10-8至50Torr |
| 重復(fù)性（見注釋5） | ±5%讀數(shù)，從1X10-8至50Torr |
| 發(fā)射電流 | 自動(dòng)切換 |
| 自動(dòng)切換（默認(rèn)值） | （見注釋6） |
| 電離規(guī)自動(dòng)啟動(dòng) | 2X10-2Torr, 3X10-2mbar,3Pa,隨壓力下降 |
| 切換到高發(fā)射狀態(tài)4mA | 5X10-6Torr, 7X10-6mbar,7X10-4Pa,隨壓力下降 |
| 切換到低發(fā)射狀態(tài)0.1mA | 1X10-5Torr, 1X10-5mbar,1X10-3Pa,隨壓力上升 |
| 電離規(guī)自動(dòng)關(guān)閉 | 3X10-2Torr, 4X10-2mbar,4Pa,隨壓力上升 |
| 除氣 | 電子轟擊，3.75W 2分鐘累時(shí)器 |
燈絲選擇 | 交替（默認(rèn)）（見注釋7） |
| 工作溫度 | 0-40℃,不結(jié)露 |
非工作溫度 | -40-70℃ |
供電要求 | 24VDC ±15%，較大26W |
外殼材料 | 鑄鋁 |
| CE認(rèn)證 | |
EMC電磁兼容指令 | 89/336/EEC;EN 50081-2,EN 50082-2 |
低壓指令 | 73/23/EEC；EN 61010-1 |
重量 | 567gm (帶KF16法蘭) |
顯示選項(xiàng) | 2位數(shù)顯加指數(shù)顯示，綠色LED |
設(shè)定點(diǎn)觸點(diǎn) | 兩個(gè)單刀雙擲(SPDT) |
觸點(diǎn)額定值 | 1A 30VDC阻抗，無(wú)感 |
范圍 | 1X10-9至50Torr,1X10-9至70mbar, 1X10-7Pa至7Kpa |
| 規(guī)管烘烤溫度 | 150℃（電子器件移除） |
內(nèi)部容積 | 10.8 cm 3(0.67 inch 3)至篩網(wǎng)口的容積 |
| Micro-lon Plus規(guī)管 | |
X射線極限 | ＜3X10-10Torr; ＜4X10-10mbar; ＜4X10-8Pa（見注釋8） |
電離規(guī)材質(zhì) | 銥絲鍍氧化釔 |
熱損失傳感器材質(zhì) | 鎢絲鍍金 |
其它暴露于其他的材質(zhì) | 304不銹鋼,鉭,鎢,鎳 |
| 貼鎳合金,硼硅酸鹽玻璃 | |
1.測(cè)量結(jié)果會(huì)隨不同氣體和混合情況而改變。
2.Micro-lon Plus規(guī)管不能用于易燃易爆氣體測(cè)量。
3.大氣壓的讀值基于使用時(shí)的校準(zhǔn)值。
4.精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的井且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
5.重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。
6.高發(fā)射和低發(fā)射模式的默認(rèn)切換點(diǎn)可以通過數(shù)字接口進(jìn)行調(diào)整。
7.模塊將隨著電離規(guī)的每次開啟交替點(diǎn)亮兩根燈絲，除非您通過數(shù)字接口將模式選成自動(dòng)(AUTO)。在自動(dòng)模式下，燈絲1會(huì)用到失效。任何一個(gè)燈絲失效，模塊都會(huì)自動(dòng)切換到好的那根燈絲工作。
8.X射線極限是規(guī)管的較小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。