347 Stabil-Ion
347 Stabil-Ion
Granville-Phillips 347模塊真空計(jì)是不需要前面板顯示和控制應(yīng)用的理想解決方案。這些緊湊，方便，可靠、節(jié)約成本的是將控制電子器件直接安裝在規(guī)管上實(shí)現(xiàn)的。全金屬包覆提供了堅(jiān)固的外殼和高水平的抗電氣噪音能力。
Stabil-Ion模塊有模擬量型和DeviceNet型可選。DeviceNet型會(huì)有兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器。這些繼電器可以用于工藝控制或安全互鎖。DeviceNet型也可以提供顯示選項(xiàng)，可以本地指示真空系統(tǒng)壓力的讀值。Stabil-lon模塊是包括Mini-Convectron模塊、Micro-Ion模塊和Micro-lon Plus在內(nèi)的Granville-Phillips模塊產(chǎn)品線的一部分。
特點(diǎn)
優(yōu)越的Stabil-lon規(guī)管性能集中于緊湊的模塊中
從10-11 Torr開始精準(zhǔn)測(cè)量真空壓力（10-11mbar，10-9 Pa）
雙規(guī)絲增加設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間
模擬量和DeviceNet接口
模塊化設(shè)計(jì)允許快速簡(jiǎn)便的進(jìn)行規(guī)管更換
DeviceNet型獲CE認(rèn)證
Stabil-Ion規(guī)管技術(shù)
穩(wěn)定、精準(zhǔn)、可靠的Stabil-lon規(guī)管是多年測(cè)試和設(shè)計(jì)的成果。Stabil-lon規(guī)管是僅有的不必隨時(shí)間推移而改變校準(zhǔn)值的高真空工藝控制規(guī)管。它擁有一系列獲的增強(qiáng)特性包括張緊的燈絲、精密繞制消除應(yīng)力的柵極、以及靜電屏蔽。這些在電離規(guī)中的增強(qiáng)成果使得它在準(zhǔn)確度、重復(fù)性以及規(guī)管與規(guī)管間的再現(xiàn)性等特性上都優(yōu)于其他設(shè)計(jì)。Stabil-lon規(guī)管的高測(cè)量性能和穩(wěn)固的設(shè)計(jì)使其成為重要真空工藝的規(guī)管選擇。
Stabil-lon模塊的特性和優(yōu)勢(shì)
堅(jiān)固的不銹鋼外殼：防止柵極和燈絲損壞安裝期間，消除了玻璃破碎險(xiǎn)。
拉緊的燈絲：保持精確定位從而保持校準(zhǔn)特性。
靜電屏蔽：完整環(huán)繞電極結(jié)構(gòu)-提供穩(wěn)定的，增強(qiáng)精度的電氣環(huán)境。
精密繞制，消除應(yīng)力的陽極：即使在高溫除氣之后仍保持其初始形狀，從而減少測(cè)量誤差。
真空燒制組件：規(guī)管的設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)及制造工藝都盡可能選取放氣減少的方案。規(guī)管制造過程中從不與裸手接觸。
量程選擇量程及雙燈絲：可提供擴(kuò)展的范圍或超高真空規(guī)管，有耐燒斷的鍍氧化釔涂層的銥絲和耐腐蝕的鎢燈絲選擇。利用第二根燈絲做備份直到正常的維護(hù)周期再更換規(guī)管可以避免意外停機(jī)。
寬量程：從1×10 -9 到 2×10-2Torr 的連續(xù)真空系統(tǒng)特性監(jiān)控。
簡(jiǎn)化的模塊設(shè)計(jì)：電子器件和傳感器合井在一個(gè)緊湊地，便于安裝的模塊中。不需要特殊工具就可以快速簡(jiǎn)便地更換規(guī)管。
兩種輸出形式：模塊可提供不帶設(shè)定點(diǎn)的模擬量輸出型或是帶兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)的DeviceNet通訊型。
彈性的DeviceNet網(wǎng)絡(luò)電源：規(guī)管電源通過DeviceNet微型接口提供或通過單獨(dú)的接口提供均可。
工藝設(shè)定點(diǎn)：帶有工藝設(shè)定點(diǎn)的產(chǎn)品中，觸點(diǎn)繼電器可用來控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點(diǎn)會(huì)存于非易失性存儲(chǔ)器中。
DeviceNet型的本地顯示：DeviceNet型產(chǎn)品可以選擇簡(jiǎn)單易讀的LED顯示器，用來指示測(cè)量點(diǎn)的壓力。顯示方向可以根據(jù)安裝位置靈活翻轉(zhuǎn)。
技術(shù)規(guī)格
| 空氣與N2的測(cè)量范圍 | （見注釋1、2） |
| 超高真空規(guī)管 | |
Torr | 2X10-11至2X10-2 |
mbar | 3X10-11至3X10-2 |
Pa | 3X10-9至3 |
| 擴(kuò)展量程規(guī)管 | |
Torr | 2X10-10至2X10-2 |
mbar | 3X10-10至3X10-2 |
Pa | 3X10-8至3 |
| 測(cè)量N2精度（見注釋4） | ±25%讀數(shù)，從1X10-8至1X10-4Torr |
| 重復(fù)性（見注釋5） | ±3%讀數(shù)，從1X10-8至1X10-4Torr |
| 發(fā)射電流 | 0.1mA和4mA |
| X射線極限（見注釋3） | |
超高真空規(guī)管 | 2X10-11Torr, 3X10-11mbar, 3X10-9Pa |
延伸范圍規(guī)管 | 2X10-10Torr, 3X10-10mbar, 3X10-8Pa |
| 除氣 | 電子轟擊，200W 2分鐘累時(shí)器控制 |
燈絲材質(zhì) | 銥絲鍍氧化釔或鎢絲 |
| 工作溫度 | 0-40℃,不結(jié)露 |
非工作溫度 | -40-70℃ |
規(guī)管烘烤溫度 | 450℃，移除電子器件 |
供電要求 | 24VDC ±15%，75W; 3.75A 20VDC |
外殼材料 | 鑄鋁 |
| CE認(rèn)證（僅DeviceNet型） | |
| EMC電磁兼容指令 | 891336/EEC;EN 50081-2,EN 50082-2,EN 61326 |
| 低壓指令 | 73123/EEC；EN 61010 |
毛重 | 800 gm (1lbs, 12. 5 oz) |
顯示選項(xiàng)（見注釋6） | 3位數(shù)顯加指數(shù)顯示，綠色LED,Torr,mbar或Pa |
設(shè)定點(diǎn)觸點(diǎn)（見注釋7） | 單刀雙擲(SPDT) |
觸點(diǎn)負(fù)載 | 1A 30VDC阻抗，無感 |
DeviceNet型 | 兩個(gè)繼電器 |
| 其它接觸氣體材料 | 適用于真空條件，超高真空兼容 |
內(nèi)部容積 | 73 cm 3(4.45 inch 3)至篩網(wǎng)口的容積 |
1.測(cè)量結(jié)果會(huì)隨不同氣體和混合情況而改變。操作說明書里提供了常用氣體的修正參數(shù)。
2.Stabil-lon模塊不能用于易燃易爆氣體測(cè)量。
3.X射線極限是規(guī)管的壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。
4.精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
5.重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。
6.顯示功能僅DeviceNet型模塊可選。
7.Device Net型模塊帶兩個(gè)繼電器設(shè)定點(diǎn)，模擬量輸出型模塊無設(shè)定點(diǎn)繼電器。