GVC2200真空計(jì)控制器
GVC2200真空計(jì)控制器
GVC2200型號(hào)可同時(shí)連接使用“熱陰極電離計(jì)、對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)”和“電容壓力計(jì)”,測(cè)量范圍為高真空(10-9Torr)至大氣壓(1000Torr)。這相當(dāng)于“對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)”和“熱陰極電離計(jì)”的連續(xù)測(cè)量范圍。另外,該控制器的設(shè)計(jì)是根據(jù)連接規(guī)的個(gè)數(shù),按照需求的情況,可以對(duì)測(cè)量通道進(jìn)行選擇。Interface端口可與外部其他機(jī)器連接，由6至8個(gè)獨(dú)立的設(shè)定點(diǎn)繼電器,4個(gè)模擬輸出，TTL、IG開/關(guān)功能組成。另外,利用內(nèi)部設(shè)定點(diǎn),在脫離對(duì)流計(jì)壓力測(cè)定范圍進(jìn)入高真空時(shí),自動(dòng)打開離子計(jì),除氣功能也可作為時(shí)間控制使用。
特點(diǎn)
離子真空計(jì)控制器標(biāo)準(zhǔn)尺寸，便于安裝
可以選擇測(cè)量通道
圖形LCD顯示。
6、8個(gè)Set-point供外部設(shè)備使用
離子計(jì)保護(hù)功能（自動(dòng)開啟/關(guān)閉）
狀態(tài)欄可以確認(rèn)SP、IG on/off等目前狀態(tài)
ATM、零點(diǎn)設(shè)置按鈕
技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍 | 對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì) : 1000Torr至8.0 x 10-4 Torr 離子計(jì) : 1.0x10-4至1.0 x 10-9 Torr |
離子計(jì)靈敏度 | 工廠設(shè)置:10/Torr |
發(fā)射電流 | 0.1mA、1mA、10mA 可調(diào) （默認(rèn)設(shè)置：1mA） |
收集極電壓 | 0V |
陰極電壓 | +30Vdc |
柵極電壓 | +180Vdc |
除氣 | I2R：10Vac 5amp （Max） |
顯示 | 128 x 64 位LCD |
設(shè)定點(diǎn)繼電器 | 6個(gè)，可獨(dú)立設(shè)置，SPDT (0.5 Amp @125 VAC) |
設(shè)定范圍 | 對(duì)流計(jì): 1000 ~ 1.0 x 10-3 Torr 離子計(jì): 1.0 x 1.0-3 ~ 1.0 x 10-9 Torr |
電壓輸出 | 0-10Vdc 用于2個(gè)CG、1個(gè)IG 0-10Vdc用于電容壓力計(jì) |
接口 | RS232C |
電源 | 195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA |
尺寸 | W x H x D : 241mm x 88mm x 250mm |
離子計(jì)
Bayard-Alpert（熱陰極）規(guī)管的壓力指示是基于氣體分子電離產(chǎn)生的連續(xù)電流。負(fù)電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極（陽(yáng)極）加速運(yùn)動(dòng)。電子進(jìn)入柵極和對(duì)地連接的收集極空間內(nèi)。在這個(gè)空間內(nèi)電子與真空系統(tǒng)中的氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對(duì)柵極的電壓和電子發(fā)射電流下，壓力低于10-3Torr時(shí)正離子形成率直接與分子密度（壓力）相關(guān)。離子流的強(qiáng)度在經(jīng)壓力單位調(diào)校的微安計(jì)上顯示出來(lái)。由于壓力的指數(shù)是線性的，熱陰極BA規(guī)管通常在壓力低于10-3Torr時(shí)被認(rèn)為進(jìn)行連續(xù)的壓力測(cè)量時(shí)精確的。
技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍 | 4*10-10至10-3Torr |
精度-N2（典型值） | ±20% |
X射線極限 | 4*10-10Torr |
靈敏度-N2 | 10/Torr |
電子轟擊除氣EB | 100W |
焦耳除氣I2R | 10A時(shí)，6.5至7.3Vac |
陰極-加熱電流 | 4-6A |
陰極-加熱電壓 | 3-5V |
陰極-電壓 | +30Vdc |
收集極電壓 | 0V |
柵極電壓 | +180Vdc |
烘烤 | 450℃ |
收集極 | 0.01英寸直徑，鎢絲 |
陰極 | 雙鎢絲或單根銥絲 |
柵極 | 難熔金屬 |
全長(zhǎng) | 152mm |
插入長(zhǎng)度 | 無(wú) |
外殼 | Nonex 7220玻璃 |
安裝方向 | 任意，垂直優(yōu)先 |
法蘭 | 3/4英寸玻璃管口和金屬管口; KF25; CF35 |
對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)
CG202真空測(cè)量范圍為8.0 x 10-4 至1000 Torr。需配套GVC2200控制器使用。
技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍 | 8.0 X 10-4至1000Torr |
燈絲材質(zhì) | 鉑絲99.999% |
安裝方式 | 水平安裝 |
工作溫度 | 0-50℃ |
烘烤溫度高可達(dá) | 50℃ |
法蘭 | KF16、KF25、CF16 |