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Flux Monitor

束流規(guī)是一種變體的裸離子計（Bayard-Alpert）。其獨特的構(gòu)造可以讓電離計進(jìn)一步進(jìn)入真空室或工藝室，可以避免“壁效應(yīng)排氣”。這種現(xiàn)象在經(jīng)常暴露在大氣中的大室中尤其普遍，或與易于被吸附到室中的氣體一起使用。壁效誤差加起來可達(dá)2個數(shù)量級的壓力誤差。這個錯誤會對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。長期應(yīng)用在MBE的束流監(jiān)測，工藝位置的真空度測量。

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