SRS殘余氣體分析儀
SRS殘余氣體分析儀
RGA100、200、300amu殘余氣體分析儀擁有很好的性能，能對真空系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)的氣體分析，相對同類型品牌產(chǎn)品有很高的性價比。每一臺RGS系統(tǒng)都配有一套四極質(zhì)譜儀、電子控制單元（RCU）和一個用于數(shù)據(jù)采集和分析、以及探針控制的實時Windows軟件包。
特點
100、200、300amu質(zhì)量數(shù)可選
＜1amu 分辨率
檢測極限5 × 10E?14 Torr
RGA Windows & LabVIEW軟件包
現(xiàn)在可更換電子倍增器和燈絲
RS232和以太網(wǎng)遠(yuǎn)程接口
封閉式離子源氣體分析儀
憑借優(yōu)于1ppm的檢測極限，mTorr壓力下的直接采樣，以及用戶方便操作的Windows軟件包，CIS系統(tǒng)將滿足嚴(yán)苛的制程。如：在線過程監(jiān)控、使用點工藝氣體純度驗證、高真空殘余氣體分析和工藝設(shè)備泄露檢測等領(lǐng)域。
特點
100、200、300amu質(zhì)量數(shù)可選
1ppm 檢測極限
操作壓力可達(dá)10mTorr
檢測極限1 × 10E?12 Torr
RGA Windows & LabVIEW軟件包
現(xiàn)在可更換電子倍增器和燈絲
RGA和真空系統(tǒng)封閉式
制程監(jiān)控系統(tǒng)
PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計用于在線過程監(jiān)控和診斷。殘余氣體分析儀（RGA）有兩條通路：一條用于監(jiān)測基本真空的高導(dǎo)電通路和一條用于監(jiān)測工作壓力下工藝的減壓通路。減壓通道擁有一個小孔，其設(shè)計用于以下壓力之一下工作：0.01、0.1、1、10Torr。它將樣品的壓力降低到RGA工作的壓力（約10E-6Torr）。這種降壓是有一個渦輪分子泵和一個隔膜泵組成的真空系統(tǒng)維持的，兩個泵都是無油真空泵，不會污染工藝過程。
此系統(tǒng)包括一個RGA、旁通閥總成和三通、ECU控制器、渦輪分子泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。系統(tǒng)軟件可在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、柱狀圖分析和壓力、時間的模式。
法拉第杯和電子倍增器都是標(biāo)準(zhǔn)的配置，電子倍增器可提供更高的靈敏度和掃描速度。PPR系統(tǒng)在發(fā)貨時已經(jīng)完全組裝并且校準(zhǔn)，可直接連接到真空腔室。
RGA技術(shù)規(guī)格
| 系統(tǒng) | |
| 質(zhì)量數(shù) | |
| RGA100 | 1 至 100amu |
| RGA200 | 1 至 200amu |
| RGA300 | 1 至 300amu |
| 質(zhì)量分析類型 | 四級質(zhì)譜 |
| 探測器類型 | 法拉第杯（FC），標(biāo)準(zhǔn) 電子倍增器（EM），可選 |
| 分辨率 | 高于0.5 amu@10%峰值（根據(jù)AVS標(biāo)準(zhǔn)2.3）高度?？稍谡麄€質(zhì)量范圍內(nèi)調(diào)節(jié)至恒定的峰值寬度。 |
| 靈敏度（A/Torr） | 2×10-4（FC），<200（EM）。用戶可在整個高壓范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。用N2@28 amu測量，全峰寬1 amu，高度10%，電子能70 ev，離子能12 ev，電子發(fā)射電流1 mA。 |
| 可檢測分壓 | 5 × 10E–11 Torr (FC) 5 × 10E–14 Torr (EM) |
| 工作范圍 | 10E–4 Torr 至 UHV (FC) 10E–6 Torr 至 UHV (EM) |
| 工作溫度 | 70℃ |
| 烘烤溫度 | 300℃（不帶電子部分） |
| 離子源 | |
| 設(shè)計 | 開放離子源，圓柱對稱式，電子碰撞電離 |
| 材料 | SS304結(jié)構(gòu) |
| 燈絲 | 釷銥絲，內(nèi)置1至10W的電子脫氣（可現(xiàn)場更換）。 |
| 電子能量 | 25至105V，可編程 |
| 離子能量 | 8至12V，可編程 |
| 聚焦電壓 | 0至150V，可編程 |
| 電子發(fā)射電流 | 0至3.5mA，可編程 |
| 一般 | |
| 探頭尺寸 | 從法蘭面至電子器頂部，8.75英寸 |
| 探頭插入 | 2英寸 |
| 探頭安裝法蘭 | CF35 |
| 管道內(nèi)徑 | 1.375英寸 |
| ECU尺寸 | 78.7mm × 104mm × 231mm ，烘烤時容易分離設(shè)計 |
| LED指示燈 | 電源開/關(guān)，燈絲開/關(guān)； 脫氣開/關(guān)，電子倍增器開/關(guān) RS232執(zhí)行/錯誤，超壓、燈絲燒毀 |
| 預(yù)熱時間 | 30分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性為±0.1 amu |
| 計算機接口 | RS-232C，28,800波特，帶高級命令集 |
| 軟件 | 基于Windows的應(yīng)用程序 |
| 電源要求 | 24伏直流電@2.5安培，DB9公頭連接器，可選內(nèi)置電源模塊，用于交流線路操作 |
| 重量 | 2.72Kg |
泵送規(guī)格
| 分子泵抽速 | 70L/s，極限壓力2 × 10E-9mbar |
| 隔膜泵 | 極限壓力小于1mbar，防護(hù)等級IP44 |
| 冷卻 | 強制風(fēng)冷 |
*其它詳細(xì)參數(shù)請聯(lián)系客服