分子泵組（真空排氣臺(tái)）
分子泵組（真空排氣臺(tái)）
真空泵組是通過(guò)組合各種泵來(lái)實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境的系統(tǒng)。
真空廣泛用于先端科學(xué)技術(shù)到一般產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)域。 根據(jù)用途所需的真空條件也是不同的。 考慮對(duì)環(huán)境的影響，可凝性氣體、腐蝕性氣體的處理是應(yīng)該解決的重要問(wèn)題。
特點(diǎn)
根據(jù)應(yīng)用情況，選擇分子泵或前級(jí)泵
緊湊型安裝
移動(dòng)式機(jī)臺(tái)
選配真空計(jì)，實(shí)時(shí)壓力監(jiān)測(cè)
應(yīng)用
研發(fā)試驗(yàn)
真空爐排氣
一般抽真空應(yīng)用
技術(shù)規(guī)格（常用）
| 型號(hào) | ST060FR060桌面式真空排氣臺(tái) | |
接口形式 | 吸氣口 | KF40 |
進(jìn)氣口 | G 1/2” | |
排氣速度 | N2 | 60L/s |
N2帶保護(hù)濾網(wǎng)時(shí) | 55L/s | |
極限真空度 | 5×10-6Pa以下 | |
| 真空泵 | 復(fù)合分子泵 | TG60FRAB /OsakaVacuum |
軸承型式 | 陶瓷軸承、脂潤(rùn)滑 | |
冷卻方式 | 強(qiáng)制空冷 | |
轉(zhuǎn)速 | 69000rpm | |
啟動(dòng)時(shí)間 | 1.5～2min | |
停止時(shí)間 | 15～25min | |
壓縮比N2 | 2×107 | |
壓縮比H2 | 3×103 | |
容許背壓 | 800Pa | |
軸承壽命 | 20000hour | |
分子泵控制器 | TC75 | |
輔助泵 | VRD4 | |
輔助泵形式 | 雙級(jí)選片式真空泵 | |
輔助泵排氣速度 | 66L/min | |