Bayard-Alpert 熱陰極離子真空規(guī)
Bayard-Alpert 熱陰極離子真空規(guī)
BA600 Bayard-Alpert(熱陰極)規(guī)管的壓力指示是基于氣體分子電離產(chǎn)生的連續(xù)電流。負(fù)電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極(陽極)加速運(yùn)動(dòng)。電子進(jìn)入柵極和對(duì)地連接的收集極空間內(nèi)。在這個(gè)空間內(nèi)電子與真空系統(tǒng)中的氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對(duì)柵極的電壓和電子發(fā)射電流下,壓力低于10-3Torr時(shí)正離子形成率直接與分子密度(壓力)相關(guān)。離子流的強(qiáng)度在經(jīng)壓力單位調(diào)校的微安計(jì)上顯示出來。由于壓力的指數(shù)是線性的,熱陰極BA規(guī)管通常在壓力低于10-3Torr時(shí)被認(rèn)為進(jìn)行連續(xù)的壓力測量時(shí)精確的。
B-A規(guī)的測量下限由這類型規(guī)管的X射線極限決定。X射線極限因不同規(guī)管設(shè)計(jì)而不同。陰極發(fā)射的電子與柵極及其支撐網(wǎng)碰撞產(chǎn)生X射線。由于BA規(guī)的幾何結(jié)構(gòu)原因,僅有一小部分發(fā)射的X射線會(huì)被收集極收集。當(dāng)X射線碰撞收集極絲時(shí),收集極上會(huì)有光電子發(fā)射。X射線電流限制了壓力測量范圍,使其等效壓力下限到10-10或10-11Torr范圍,取決于規(guī)管型號(hào)。早期的規(guī)管在柵極外有個(gè)柱狀收集極,這種規(guī)管的X射線極限大約在10-8Torr。當(dāng)氣體非常稀薄且規(guī)管所獲得的電流輸出幾乎全部都來源于X射線光電發(fā)射時(shí),X射線極限就決定了規(guī)管壓力測量值。
電極被碳?xì)浠衔镂廴竞髸?huì)使X射線極限增加,這是因?yàn)樵赬射線轟擊下污染表面會(huì)放出更多的二次電子。這種污染通常可以通過電極除氣來消除。
BA600
BA601
BA602
BA603
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | BA600 | BA601 | BA602 | BA603 |
測量范圍 | 10-9Torr至5*10-2Torr | 2*10-11Torr至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr |
精度-N2(典型值) | ±15% | ±20% | ±20% | ±20% |
X射線極限 | 5*10-10Torr | 2*10-11Torr | 4*10-10Torr | 4*10-10Torr |
靈敏度-N2 | 10/Torr | 25/Torr | 10/Torr | 10/Torr |
電子轟擊除氣EB | 3W | 40W | 100W,通常70W | 100W |
焦耳除氣I2R | 不適用 | 不適用 | 10A時(shí),6.5至7.3Vac | 10A時(shí),6.5至7.3Vac |
陰極-加熱電流 | 2.0-2.5A | 2.5-3.5A | 4-6A | 4-6A |
陰極-加熱電壓 | 1.5-2V | 3-5V | 3-5V | 3-5V |
陰極-電壓 | +30Vdc | +30Vdc | +30Vdc | +30Vdc |
收集極電壓 | 0V | 0V | 0V | 0V |
柵極電壓 | +180Vdc | +180Vdc | +180Vdc | +180Vdc |
烘烤 | 200℃ | 450℃ | 450℃ | 450℃ |
收集極 | 0.01英寸直徑,鎢絲 | 0.005英寸直徑,鎢絲 | 0.01英寸直徑,鎢絲 | 0.01英寸直徑,鎢絲 |
陰極 | 雙氧化釔涂層銥 | 雙鎢絲或雙銥絲,可更換 | 銥絲,可更換 | 雙鎢絲或單根銥絲 |
柵極 | 蝕刻不銹鋼 | 難熔金屬 | 難熔金屬 | 難熔金屬 |
全長 | Max 96mm | 105mm | 105mm | 152mm |
插入長度 | 無 | 76mm | 76mm | 無 |
外殼 | 蝕刻不銹鋼 | 裸規(guī),CF35法蘭 | 裸規(guī),CF35法蘭 | Nonex 7220玻璃 |
安裝方向 | 任意 | 任意 | 任意 | 任意,垂直優(yōu)先 |
訂購資料
BA600 Mini IG | |
3/4英寸管 | BA600DYA |
KF16 | BA600DYB |
KF25 | BA600DYC |
KF40 | BA600DYD |
CF16 | BA600DYE |
CF35 | BA600DYF |
8VCR | BA600DYH |
BA601 UHV | |
Nude IG-UHV,EB-Degas,雙氧化釔涂層銥絲,CF35 | BA601DY |
Nude IG-UHV,EB-Degas,雙鎢絲,CF35 | BA601DT |
更換燈絲-雙氧化釔涂層銥絲, | BA1DY |
更換燈絲-雙鎢絲 | BA2DT |
BA602 | |
Nude IG,I2R-Degas,單氧化釔涂層銥絲,CF35 | BA602SY |
Nude IG,I2R-Degas,雙氧化釔涂層銥絲,CF35 | BA602DY |
Nude IG,I2R-Degas,雙鎢絲,CF35 | BA602DT |
更換燈絲-單氧化釔涂層銥絲, | BA2SY |
更換燈絲-雙氧化釔涂層銥絲, | BA2DY |
更換燈絲-雙鎢絲 | BA2DT |
BA603,單根氧化釔涂銥絲 | |
3/4英寸可伐金屬管口 | BA603SYA |
1英寸可伐金屬管口 | BA603SYT |
3/4英寸耐熱玻璃接管 | BA603SYG |
1英寸耐熱玻璃接管 | BA603SYH |
KF25 | BA603SYC |
KF40 | BA603SYD |
CF16 | BA603SYE |
CF35 | BA603SYF |
BA603,雙鎢絲 | |
3/4英寸可伐金屬管口 | BA603DTA |
1英寸可伐金屬管口 | BA603DTT |
3/4英寸耐熱玻璃接管 | BA603DTG |
1英寸耐熱玻璃接管 | BA603DTH |
KF25 | BA603DTC |
KF40 | BA603DTD |
CF16 | BA603DTE |
CF35 | BA603DTF |